中古 NOVASCAN 840 #9229187 を販売中

NOVASCAN 840は、ウェーハテストのためのフルレンジの機能を提供するハイテクなウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、3D欠陥検査、粒子解析、CMP （Chemical Mechanical Planarization）研究、欠陥評価などの高度な計測機能を提供します。840はデジタルビデオカメラと数種類の光源を搭載しており、インラインウェハ検査に最適です。ユニークなX、 Y、 Zステージムーブメントを内蔵しており、迅速かつ正確にウェーハをスキャンすることができます。このユニットは最先端のアルゴリズムを使用して、ウェーハのさまざまな部分の形状とサイズを正確に比較します。NOVASCAN 840は欠陥解析も可能です。ウエハーに含まれる汚染物質、傷、エッチングパターンの不規則性などの欠陥を解析します。このプロセスにより、歩留まり制御の改善と、より多くの注意を必要とする領域の特定が可能になります。さらに、840はウェーハレベルの計測を行うことができます。1ミクロン以上の特徴、線幅変動、高解像度プロファイルなどのパラメータを測定できます。また、不規則な表面や厚さの変化を検出することもできます。NOVASCAN 840には、いくつかの種類の視覚的フィードバックもあります。そのグラフィカルユーザーインターフェイスは、ツールによって収集されたデータを表示および分析するさまざまな方法を提供します。これにはフィーチャーマップと分割画面表示モードが含まれます。840は半導体産業のニーズに合わせて独自に設計されています。特に、サイズが3。7 µmしかない粒子を正確に検出することができます。さらに、アセットは、わずか0。2 µm高い設計されたウェーハトポグラフィからの偏差を検出するのに十分な感度を備えています。全体として、NOVASCAN 840は、製造プロセスをスムーズに実行するために使用できる強力で汎用性の高いウェハテストツールです。また、歩留まり損失を防ぐために欠陥を発見し、分析するために使用することができます。高度な計測機能により、さまざまなウェーハ部品の形状やサイズを正確に測定および可視化できます。