中古 NOVASCAN 420 #117521 を販売中

NOVASCAN 420は、高精度の測定、分析、リアルタイムプロセス性能を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。これは、重要なプロセスパラメータを測定および維持するための最も強力なツールです。さまざまな試験方法を備えた420は、パラメトリック欠陥やその他の不規則性を正確かつタイムリーに検出し、確実なプロセス最適化を実現します。高速レーザースキャンプラットフォーム、CCDカメラ、高解像度光イメージングユニット、一連の埋め込みフィルタ、各種テストアルゴリズムで構成されています。レーザースキャンプラットフォームは高精度のベクトルドライブを備えているため、各ウェハの極薄プロファイルと曲線を正確に測定できます。CCDカメラは、各ウェーハのリアルタイム画像をキャプチャし、カメラの位置を変更することなく、フルアングルの可視性を提供します。光学イメージングツールは、ナノメートル精度で正確な3D測定を提供し、最小の表面特性でも正確に分析することができます。埋め込まれたフィルターは複数の波長の光を提供し、異なる光学特性を持つさまざまな材料を分析することができます。NOVASCAN 420のテストアルゴリズムは、ウェーハの公称特性における測定可能な矛盾を検出するように設計されています。アルゴリズムは、実際の測定値と事前に決定された値セットを比較し、プロセスのパフォーマンスに関するリアルタイムのフィードバックを提供します。複数のデバイスパラメータ監視や包括的なパターン認識などの高度なソリューションも有効になります。このアセットは、既存のオートメーションプラットフォームと容易に統合し、統合を容易にします。全体として、420は、精密なレーザースキャン、フルアングルCCDカメラ、高解像度イメージング機器、さまざまなテストアルゴリズムを備えた強力なウェーハテストおよび計測モデルであり、プロセス最適化を確実にするための正確なツールをユーザーに提供します。