中古 NOVASCAN 210 #9224124 を販売中
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NOVASCAN 210は、高精度の表面解析、欠陥検査、およびウェーハサンプルの寸法測定用に設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。レーザースキャン顕微鏡(LSM)、 Photon Scanning Microscopy (PSM)、電子ビーム顕微鏡(EBM)、原子力顕微鏡(AFM)など、表面イメージングに適したさまざまなセンサを備えています。このシステムには、自動欠陥検出(ADD)ソフトウェアも含まれており、小さな欠陥の詳細な特性評価と均一性測定を可能にします。エネルギー分散型X線(EDX)機能により、210は元素組成を測定し、材料の欠陥または不純物の化学的識別を行うことができます。このユニットは、大面積のデジタルカメラ、敏感な光学系、および電動ガントリーマウントマシンを備えた光学プラットフォームに基づいています。大型ウエハやサンプルの超高解像度イメージングが可能なNOVASCAN 210には、サンプル位置決めステージが統合されており、サンプルの位置を迅速かつ正確に調整できます。機械の少数の部品、大きい作業区域、速い直線および分野の平らになる技術はすべてそれに生産サポートのための理想的な選択をします。ソフトウェアパッケージには、高速スキャンと視覚化、基本パターン認識、高度な比較ツールも含まれています。全体として、210は幅広いウェーハテストおよび計測アプリケーションに理想的なソリューションであり、高速で使いやすいパッケージで信頼性と正確な測定を提供するように設計されています。故障解析、プロセス監視、ウェーハリソグラフィ、パラメトリックテスト、品質管理など、さまざまなプロセスやアプリケーションに最適です。
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