中古 NOVA V2600 #9397357 を販売中

NOVA V2600は、高度な半導体製造および製造流通ライン向けに設計されたハイエンドのウェーハ試験および計測機器です。それは走査の電気テスト、光学テスト、欠陥マスキングおよび点検、型せん断およびパッケージの引きテストおよび光学および粒子の特徴付けのようなすべてのタイプのテストおよび測定の仕事を行うことができます。このシステムは、光学および電気試験ステーション（OETS）と計測ステーション（MS）の2つのモジュールで構成されています。OETSは、自動ロボットアームを使用してウェハレベルの試験を行うモジュール式光学および電気試験ステーションで構成されています。このユニットは、2Dおよび3D測定および電気測定の両方をサポートしており、ドーパント濃度、欠陥および不純物の密度、デバイスの歩留まり、およびその他の重要なプロセス関連パラメータなどのパラメータを迅速かつ正確に測定するために使用できます。計測ステーションには、走査型電子顕微鏡（SEM）、原子力顕微鏡（AFM）、共焦点レーザー顕微鏡（CLM）など、さまざまな計測およびイメージング機器があります。また、フーリエ変換赤外線分光計（FTIRs）、 X線光電子分光計（XPSs）、ラマン分光計など、様々な分光器が含まれています。これらの計測器は、エッチング深さ、密度、地形、界面角、表面粗さ、およびその他の重要なプロセス変数を含むウェハレベルの計測およびイメージングパラメータを測定するために使用されます。V2600には、データの自動取得や分析などのさまざまな自動機能が含まれており、データを迅速かつ正確に分析することができます。このマシンは、統計プロセス制御（SPC）パッケージやその他のコンピュータ支援設計および製造（CAD/CAM）ソフトウェアなどの他のソフトウェアと統合することができます。高度なデータ分析とレポート機能により、プロセスの改善と最適化のための高度な意思決定サポートを提供します。安全面では、このツールは半導体業界の安全基準を満たすように設計されており、追加のインターロックや組み込みの安全機能を含む複数の層の安全検出を備えています。これらの機能により、危険な環境下で資産が作動せず、生産環境で安全に運用できるようになります。全体として、NOVA V2600は、高度な半導体製造のための包括的なソリューションを提供する強力で信頼性の高いウェーハテストおよび計測モデルです。その高度なシステムと機能により、ユーザーはデータを迅速かつ正確に分析し、欠陥を特定し、プロセスを最適化し、品質を向上させることができます。さらに、その安全機能は、安全で効率的な方法で使用できることを保証します。