中古 NOVA NovaScan 3090 #293823988 を販売中

NOVA NovaScan 3090は、NOVA Technology Corporationによるウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、MEMSおよびフォトニックウエハの試験において正確かつ正確な測定を提供するように設計されています。それは0。1 nmまでの高出力の決断を提供する自己一直線に並ぶ光学干渉計を利用します。NovaScan 3090は、2つのネジ式テストローダを備えた大規模な自動ウェーハステージを備えているため、さまざまなテストウェーハサイズの単極および多極構成の両方に対応できます。最大ウエハ径300mmで、200 µm〜5mmまでのウエハ厚に対応できます。ステージは360度の回転を持ち、あらゆる角度から試験試料を正確に測定することができます。NOVA NovaScan 3090には、レーザー干渉計の精度とCCDイメージングの忠実度を組み合わせたRGBレーザー干渉計も内蔵しています。これにより、幅広い素材のさまざまな角度から正確な画像をキャプチャすることができます。このツールは、ステップハイト、表面テクスチャ、地形、およびマイクロフィーチャーのサブナノメートルの不一致をキャプチャできます。さらに、NovaScan 3090には統合されたデジタル顕微鏡があり、ウェーハの正確な領域と特徴の特殊な画像を取得します。この機能により、ウェーハ上の距離の正確な測定や、3Dでのナノスケールの機能が可能になります。顕微鏡はまた、最高の解像度、詳細、および精度を得るために画像を研磨し、ステッチするための高度なソフトウェアが装備されています。NOVA NovaScan 3090には、自動化された操作と拡張された使用を可能にするいくつかのソフトウェア機能も含まれています。このアセットには、リアルタイムの分析と迅速なフィードバックによる意思決定を可能にするライブマイクロスコープが装備されており、動的な目視検査機能により、高解像度画像の迅速かつ正確で自動化された確認が可能です。また、このソフトウェアは、材料ウェーハの任意の異常を自動的に検出して報告することができ、コスト効率が高く信頼性の高い計測モデルとなります。