中古 NOVA NovaScan 3090 #293820380 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
NOVA NovaScan 3090は、高度なウェーハ試験および計測に適した最先端のスキャンおよび計測機器です。このシステムは、真の3次元機能を備えています。4インチおよび6インチのウェーハ、10インチおよび15インチのウェーハの測定が可能です。内蔵のコントローラが付属しており、ホストコンピュータからコマンドを実行することができます。単位は多数の部品から成っています。ハイダイナミックレンジのオプトメカニカル設計と安定したビームスポットサイズにより、一貫した結果が得られます。また、プローブ段の正確なフォトマスクのアライメントと微細な位置決めのために、バランスの取れたトルクアームを備えた高精度のステッピングモーターを搭載しています。さらに、レーザービームのアライメントにより、高精度と測定の再現性が保証されます。このツールは、さまざまなパラメータを測定できる高度な光学系を使用しています。高精度の厚さ、ダイ間の厚さなど、高解像度の1次元、2次元、3次元、さらには4次元の測定を行うことができます。また、精度を向上させるための高度なオートフォーカスとエッジファインダー機能も提供しています。この資産には、モデルを厳密に監視して結果を保証する堅牢なソフトウェアが搭載されています。これは、パラメータ測定の数を実行することができ、再現性と最高精度を保証するために、参照値と比較することができます。また、データ収集と分析を簡素化する強力なユーザーインターフェイスを備えています。NovaScan 3090は、多くの高精度タスクに適しています。エッチングの深さ、平坦度、クリティカル寸法、膜厚、エッジプロファイル、金属線幅、クリティカル寸法を迅速かつ正確に測定し、イメージングベースの測定を行うために使用できます。また、ウェーハ上でのパーティクル解析、サイドウォール角度測定、オーバーレイ補正も可能です。結論として、NOVAからのNOVA NovaScan 3090は、ウェハテストと計測のための高度なスキャンおよび計測機器です。堅牢なソフトウェアパッケージと使いやすいユーザーインターフェイスを備えているため、高精度のタスクに信頼性の高い選択肢となります。その特徴は、様々な作業に適しており、幅広い業界で使用することができます。
まだレビューはありません