中古 NOVA NovaScan 3090 Next #293778026 を販売中

ID: 293778026
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Critical Dimension (CD) measurement system, 12" 2012 vintage.
NOVA NovaScan 3090 Nextは、高精度、高精度、再現性を備えたプロセスデータポイントの収集を自動化するために設計された最先端のウェハテストおよび計測機器です。ユニークなウェーハナビゲーションとアライメントユニットを搭載し、ウェーハの位置や測定を正確に制御します。機械に内蔵されたキャリブレーションにより、オペレータの介入なしで、一貫したパフォーマンスを実現します。また、ウェハローカライゼーションツールを採用し、正確で高速なデータ収集を実現しています。NovaScan 3090 Nextには、画像処理を利用した高解像度マルチチャネルCCDカメラが搭載されており、ウェハの構造や地形をエッジとサイドビューで解析できます。また、直径、高さ、角度、サイドウォール角度、クリティカル寸法、ディープトレンチ、ラジアルサイドウォールプロファイル、ウェーハ上の残留勾配領域を測定できる高品質の光学顕微鏡を備えています。また、CCDイメージプロジェクターと自動ガラス検査・検査アセットを搭載しています。このモデルには12のモーター付きの登録方向が装備されていますが、オプションのモーター付きガラス検査装置は高速で正確なガラス測定を提供します。このシステムは高度なモーションコントロールを備えており、正確なモーションコントロールで高速スキャン速度を可能にし、ウェーハテストと計測をより効率的にします。NOVA NovaScan 3090次に、プロセス制御、系統的な故障解析、歩留まり改善、欠陥検出など、さまざまなウェーハ計測アプリケーションに最適なツールです。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと直感的なワークフローにより、あらゆるレベルのオペレータがユニットを迅速かつ効果的に使用できます。さらに、すべての業務は包括的な監査証跡を通じて追跡可能であり、ユーザーはプロセスデータを監視および追跡することができます。NovaScan 3090次は、ウエハテストと計測を使用して、実験室や産業環境に最適なツールです。直感的なユーザーインターフェイス、強力な機能、高度なモーションコントロールにより、効率的で正確なウェーハテストと計測を可能にします。
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