中古 NOVA NovaScan 3090 Next SA #9195941 を販売中
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販売された
ID: 9195941
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Critical dimension measurement system, 12"
Includes:
(3) Load ports
Interpretation computer (Mini IPC) kit
2012 vintage.
NOVA NovaScan 3090 Next SAは、従来のシステムのほんの一部のコストで生産レベルの精度を提供するように設計されたウェハテストおよび計測機器です。それは完全に統合されたソフトウェア/ハードウェアアーキテクチャと誘電体および有機フィルムの迅速なスキャンのためのデジタルイメージプロセッサを備えています。最先端の3段階光学ユニットを搭載し、幅広いウエハ素材で高い精度と再現性を実現しています。NOVA NOVASCAN 3090 NEXTSAは、光検査、金属酸化物半導体(MOS)トランジスタおよびその他のパワーコンポーネント試験、リソグラフィーパターニング、化学機械研磨(CMP)およびその他の関連ウエハメトロロジー作業に使用できる汎用性の高い機械です。デジタルオートフォーカスツール、8インチイメージミラー、可変波長レーザーイルミネータで機能し、最適な精度と精度を実現します。レーザー照明器は最小限のイメージの騒音を光学的に反射か透過照明に提供するために調節可能です。NovaScan 3090 Next SAは、ダイレベル検査や膜厚測定など、さまざまな計測アプリケーションにカスタマイズできるモジュール設計を備えています。単一のレンズ収納室、モーター式フォーカス付きの60x顕微鏡、35mmデジタルイメージングカメラ、スペクトル反射計が付属しています。このアセットは、CCDイメージングモデル、分光計、コンピュータ化された偏光顕微鏡、およびオプションのマルチスペクトルイメージング機器などの追加アクセサリで拡張することができます。NOVASCAN 3090 NEXTSAはまた、透過性、1D反射測定検査(RI)、非接触表面2D(レベル)検査などの複数の動作モードを介して、表面非均一に対する高い感度で非均一性、欠陥、およびその他の材料の不規則性を検出する機能を備えています。Si、石英、ポリシリコン、サファイア、シリコン、ガラス、セラミックスなど幅広い基板に対応しています。このシステムは、停電時の自動シャットオフ、およびオペレータが最適な性能を得るために機械を校正することができる自己調整ユニットを含む、組み込みの安全機能を備えています。NOVA NovaScan 3090 Next SAは、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えた完全に自動化されたツールを提供し、より高速なテストと測定結果を可能にします。統合されたピックアンドプレイスアセットはプロセスを簡素化しますが、完全に統合されたコンピューター制御モデルにより、追加のハードウェアやソフトウェアを必要とせずに簡単にデータ分析できます。6。8アンペアのステッピングモータを搭載し、幅広い素材や基板で高い精度と再現性を実現しています。
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