中古 NOVA NovaScan 3090 Next SA #293638911 を販売中

NOVA NovaScan 3090 Next SA
ID: 293638911
Critical Dimension (CD) measurement systems.
NOVA NovaScan 3090 Next SAは、NOVA Technologies社のウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、複数の技術を実行する能力を持つ半導体ウェーハの効率的かつ正確なテストを提供するように設計されています。単一のウェーハのさまざまな領域を、フルウェーハまたはダイレベルテストと同時にテストすることができます。ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより、NOVA NovaScan 3090はシート抵抗やドーピング濃度などのウェハレベルのパラメータを測定することができます。また、電子や穴の移動性、局所界面状態、およびその他の特定のパラメータのための統合された測定機能も提供します。さらに、このユニットはダイレクトイメージングおよびフルフィールドパッシブキャパシタンス測定を提供します。機械はモジュール式で、各ユーザーの特定の計測要件に従って構成する柔軟性があります。自動化されたプローバを含む複数のステーションタイプをサポートし、異なるハードウェアオプションでアップグレードできます。さらに、このツールは、CMP、パターニング、およびデバイス特性評価機能を拡張する専用ソフトウェアでアップグレードできます。NOVA NovaScan 3090は、ウェーハ特性を最も正確に測定できる完全なウェーハマッピングを備えています。また、ウェーハの地形をよりよく分析できる3つのレベルの画像最適化を備えています。最後に、MultiStationプロセスチャンバーはアンモニアベースのポストメトロロジープロセスを最大5つ提供し、ユーザーは同じ資産で複数の洗浄操作とアニーリングプロセスを実行できます。NOVA NovaScan 3090は、半導体メーカーや研究センターの厳しい要件を満たすために、堅牢で信頼性が高く正確な計測ソリューションを提供する最新のモデルです。この装置は、ルーチン計測と特殊計測の両方のアプリケーションに最適で、ウェーハやデバイスの特性を迅速かつ正確に測定および分析するために必要なツールをユーザーに提供します。
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