中古 NOVA NovaScan 3090 FI SB #9276192 を販売中

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ID: 9276192
Film measurement system P/N: 390-00000-10 With EBARA CMP Integration metrology critical dimension EBARA REX300 CMP Tool Voltage: 115 V, 230 VAC.
NOVA NovaScan 3090 FI SBは、さまざまな産業および科学アプリケーションで使用するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度なウェーハ試験および計測技術を使用して、半導体ウェーハ上の電気的および物理的特性を正確に測定することができます。高解像度、高速イメージング機能により、表面粗さ、エッチング速度、均一性、偏光、絶縁のさまざまなパラメータを測定できます。NovaScan 3090 FI SBを使用すると、半導体ウェーハの解析が改善され、欠陥領域を特定して分離する機能が提供されます。高解像度高速イメージングマシンによる表面解析が可能で、電気的、表面的、構造的な特性を測定することができます。さらに、このツールには、材料の欠陥や追加の調査が必要な領域を自動的に認識する機能など、特性評価を支援するさまざまな機能が装備されています。このアセットには、モデルとユーザー間のシームレスな統合を提供するためのさまざまなソフトウェアサポートが含まれています。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、機器の機能を簡単にナビゲーションでき、オペレータは関心のある領域をすばやく特定できます。このソフトウェアには、光学臨界次元(OCD)解析、CD-SEM(臨界次元走査電子顕微鏡)プロファイル、および自動二次電子CD-SEMプロファイルなど、さまざまな分析ツールも含まれています。このシステムは、自動データ収集ユニットや高速イメージングマシンなど、さまざまな先進技術で構築されています。これにより、さまざまなパラメータの正確な測定と分析が可能になります。さまざまな画像キャプチャオプションを使用すると、最大10,000ピクセルの解像度の画像をキャプチャでき、ウェーハ表面の詳細情報を提供できます。このアセットには、ドーパント濃度を正確に測定するためのイオンビームモデルも含まれています。全体として、NOVA NovaScan 3090 FI SBは、さまざまな産業および科学アプリケーション向けに設計された強力で汎用性の高いウェーハ試験および計測機器です。その高度なイメージング機能、自動データ収集システム、ソフトウェアサポートの範囲は、欠陥領域を特定し、電気、表面、および構造特性を測定するための貴重なツールです。
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