中古 NOVA NovaScan 3060 #293655413 を販売中
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NOVA NovaScan 3060は、ハイエンドのテクノロジーノード向けに設計された高度なウェハテストおよび計測機器です。半導体製造のための包括的なウェーハメトロジーと欠陥検査ソリューションを提供します。このシステムのスキャン技術は、光学性能と安定性を兼ね備えており、ウェーハ計測および欠陥検査作業において最高の精度を保証します。このユニットには、優れた画像コントラストと解像度を提供するアダプティブフォーカス機構と強化電流イメージング（ECI）技術が装備されています。さらに、このマシンは3つの高速スキャン技術を提供しています：標準、バースト、およびスライドスキャンモード。NovaScan 3060は、あらゆる用途に最適化された長距離の光学顕微鏡を使用しています。また、ウエハハンドリングツールを内蔵しており、直径12インチまでのウエハーを自動処理できます。また、高分解能イメージングのための正確な偏光プロファイルを確保するために、高密度偏光フィルタを装備しています。NOVA NovaScan 3060は、サブミクロンレベルの試験構造と欠陥の画像をキャプチャするだけでなく、プローブの正確な位置決めを提供することができます。使いやすくカスタマイズ可能なソフトウェアを備えたマルチスペクトル、マルチアングルメトロロジーモデルが含まれており、ユーザーはすぐにイメージングデータとメトロロジーデータを取得できます。また、1時間あたり最大200ウェーハの高いスループットと、± 2 μ mの総精度を備えています。NovaScan 3060には、シャープニング、ダークフィールド、コントラスト、彩度調整ツールなど、多くの画像強化アルゴリズムが装備されています。さらに、ウェーハイメージを複数の解像度として保存し、アプリケーションに最適な状態で、再スキャンすることなくウェーハを検査することができます。全体として、NOVA NovaScan 3060は、優れたイメージング性能、精度、生産性を提供する高度なウェーハテストおよび計測ユニットで、イメージング機能と直感的なユーザーフレンドリーなソフトウェアを組み合わせています。
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