中古 NOVA i550 #9356921 を販売中

NOVA i550は、SPTS/Oxford Instrumentsの最新のウェーハテストおよび計測製品です。この装置は、半導体産業のための高度なウェハレベル試験、検査、および計測用に設計されています。ウェーハの歩留まりと性能を最適化するためのさまざまなツールと機能を提供します。このシステムには、150mmのインタラクティブなマルチレベルインターフェースステーションが装備されており、手動または完全に自動化されたテスト戦略で、ウェーハの自動的かつ直感的なロードを提供します。これは、将来的に200mmに適応するオプションで、最大150mmの基板に対応することができます。このユニットは、RFプローブ、温度および湿度センサー、およびさまざまな光学プローブなどのさまざまなテスト構成で、お客様の特定のアプリケーションの要件に合わせて調整されています。また、3D光学コヒーレンス顕微鏡（OCM）や光発光（PL）などの高度な光学計測ツールや、高度なデバイス構造のためのフォトリソグラフィーおよびエッチングソリューションも備えています。これにより、サブミクロンレベルまでのウェーハの正確な欠陥可視化、測定、特性評価が可能になります。i550のその他の機能には、ウェーハテストツールの包括的なソフトウェアスイートが含まれています。これにより、高速なデータ取得速度とデータ処理が可能になり、ウェーハ全体のプロセスおよび欠陥関連領域を迅速かつ容易に識別できます。このデータは、必要に応じてプロセスを調整するために使用できます。また、自動テストスケジューリングと直感的なインターフェースをサポートし、連続運転を可能にし、あらゆる生産ラインにシームレスにフィットします。さらに、NOVA i550は高度な計測機能を備えており、構造を測定することが困難な小型で信頼性の高い高速解析を可能にします。生産準備が整った設計、高度なテストおよび計測ツール、直感的なユーザーインターフェイス、さまざまなテストパラメータの組み合わせにより、i550は高度なウェーハ製造プロセスや半導体研究に最適です。