中古 NIKON AM-601D #9224306 を販売中
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NIKON AM-601Dは、オペレータの介入を最小限に抑え、フラットおよびパターン化されたウェーハを正確かつ再現可能に測定できるように設計された自動ウェーハ試験および計測装置です。このシステムは、最大直径6インチのウェーハを測定することができ、走査型電子顕微鏡(SEM)を使用してウェーハ表面の高解像度画像を提供します。統合された測定ユニットは、ステージとステージモーションモジュール、検査ソフトウェアモジュール、サンプルホルダー検出モジュール、解析ソフトウェアモジュール、Webインターフェイスモジュールなど、複数のモジュールで構成されています。ステージとステージモーションモジュールは、正確な位置決めとスキャンのためにウェーハの動きを制御します。検査ソフトウェアモジュールは、ウェーハ表面の測定とオプションの編集機能を備えたデータ操作を行います。サンプルホルダー検出モジュールは、サンプルの自動読み込みと検出を可能にします。解析ソフトウェアモジュールは、画像と3Dツリーマップを表示し、フォルトの位置、粗さ、地形、層の厚さなどのウェハレベルの洞察を提供します。Webインターフェイスモジュールはまた、マシンの管理のための直感的な制御インターフェイスを提供します。NIKON AM 601Dは、精密圧力トランスデューサ、レーザー干渉計、手動サンプルホルダーなど、ウェーハの平坦性と表面粗さをテストするためのウエハテストと計測機能を備えています。さらに、このツールは、さまざまなアプリケーション固有のテストを実行するためのトレーサビリティとカスタマイズ機能を提供します。アセットの他の機能には、マルチタスク機能、柔軟なオートメーション、正確なアライメント精度などがあります。全体として、AM-601Dは信頼性が高く、高解像度のウェーハテストと計測モデルであり、さまざまなウェーハテストと測定タスクを実行するのに適しています。幅広い機能とツールを提供しており、さまざまなアプリケーションでフラットおよびパターン化されたウェーハを迅速かつ正確に測定できます。
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