中古 NIKON AM-601D #293645645 を販売中

製造業者
NIKON
モデル
AM-601D
ID: 293645645
Reticle inspection system.
NIKON AM-601Dは、材料のナノメトリック表面の地形特性を測定するために主に構築された最先端のウェーハ試験および計測機器です。多軸統合位置決めシステム、光学系を含む客観的アセンブリ、検出器、および検出器からの信号を検出するために必要な電子機器で構成されています。このユニットは、x、 y、 z軸の表面の高解像度3D地図画像を取得することができます。多軸ポジショニングマシンは、反転Yデュアルステージベース構造に取り付けられた高精度のエアベアリングを装備しています。高精度のために、可能な限りエラーを低減するために最大のコリメーションを持つエアベアリングが使用されます。この位置決めツールは、ワークのトラクジェットまたはガントリーと組み合わせることで、より広範囲の動作を実現します。客観的なアセンブリは、可能な限り最高の解像度を確保するために構築されています。これは、磁気シールド光学アームと一体化したNIKON独自の高数開口対物レンズを採用しています。これにより、クリーンで分散しない光路を維持しながら、高精度で安定した光学プラットフォームが保証されます。この検出器は、堅牢で非破壊的なCCD検出器です。CCD検出器は、熱的および振動的にダウンコンバートされた環境に取り付けられ、画像表面に安定性を提供します。CCD検出器は対物レンズに非常に近接して取り付けられ、高い信号対ノイズ比を保証します。NIKON AM 601Dアセットは、高度なウエハテストと計測モデルです。最高レベルの精度、精度、再現性を提供するように設計されているため、広範囲のナノメトリック表面トポグラフィ測定アプリケーションに最適です。この装置は、サブナノメートルの再現性を備え、最大2 μ mの高解像度表面画像を生成することができます。最大80 μ m/秒のスキャン速度を提供し、高速測定と短いスキャン時間を提供します。このシステムは、金属、半導体、ガラス、プラスチックなどの幅広い材料向けに設計されています。AM-601Dは、光学計測分野の研究開発アプリケーションに理想的な選択肢です。
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