中古 NANOMETRICS NanoSpec 9000b #9361379 を販売中
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ID: 9361379
ヴィンテージ: 2007
Thin film measurement system
Polarized / Normal-incidence spectroscopic ellipsometry:
Non-contact / Optical critical dimension
Wavelength range: 320-780 nm
DUV-Visible spectroscopic reflectometry:
Single / Multi-layer film thickness measurements
N&K Film optical properties and reflectance
Wavelength range: 190-780 nm
High throughput R/Θ/Z stage
N2000 User interface compliant to SEMI (E95-0200)
Measurement capabilities:
N&K Film optical properties
Single and multi-layer film thickness
Line width / Space
Sidewall angle
Line height
Line profile
Lithography applications:
Film thickness of BARC and photoresist
N&K
Copper CMP applications:
Low K thin film thickness
Barrier thickness (TaN)
Block
Erosion
Residuals
Oxide CMP applications:
Very thin film thickness (<100 Å)
ONO and NO Film stacks
Film thickness over arrays
Residuals
Si Etch applications:
Poly or WSi gate profiles
STI Profile
2D Structures and arrays
Dielectric etch applications:
Nitride and oxide film thickness
Low-K thickness
Damascene trench profile
DUV to Visible reflectometer
Normal incidence spectroscopic ellipsometry with R/Θ/Z stage
Operating system: Windows XP
Automatic focus
Optical non-contact pre-aligner (Centering and notch / Flat finder)
Wafer handling: Flat chuck
GEM/SECS (RS-232 or HSMS)
Feed location backside
Vacuum flow rate: G 533.4 mm Hg at 15 l/min
Line size: 6.35 mm (0.25 in.) OD
Connector type: SWAGELOK Bulkhead fitting (0.25x0.25")
Electrical: 110/208 VAC, 50/60 Hz, 10 A, Single phase
Power cord: Single 10 ft, 3-conductor, 14 AWG, 600 V.
2007 vintage.
ナノメトリクスNanoSpec 9000bは、高度な特性評価と欠陥のない試験機能を提供するウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、高解像度イメージングユニット、高速イメージプロセッサ、ウェーハステージのモーションコントロールマシン、およびさまざまな特殊なテストプローブなど、さまざまな独自の機能と技術が搭載されています。NanoSpec 9000bの基礎は、CMOSイメージセンサーと高速イメージプロセッサです。このツールには、最大8メガピクセルの解像度で毎秒最大192フレームを同時に取得できる3つの8メガピクセル画像処理ユニットが含まれています。このイメージング性能により、NanoSpecの比類のないスループットと分解能の精度が得られ、ウェーハ上の最小の欠陥やパターンを検出することができます。ナノメトリクスNanoSpec 9000bには、ゼロクリアランスリニアアクチュエータを備えたモーションコントロールアセットも含まれており、ウェーハステージの滑らかな動きと正確な位置決めを提供します。これにより、ウェーハが正確なテストと測定のために制御された環境に留まることが保証されます。モーションコントロール機能に加えて、レーザー、大面積、クッション、マルチプローブプローブなど、さまざまなテストプローブも搭載しています。これらのプローブは、幅広いウェーハ試験および計測機能を提供します。NanoSpec 9000bはまた、ウエハー上のさまざまな欠陥やパターンを検出して識別することができる特殊なハードウェアとソフトウェアを備えています。これには、エッジ欠陥、突起、およびその他の地形的特徴が含まれます。また、自動欠陥レビューのための高度なパターン認識アルゴリズムを使用して、ウェーハ上の欠陥を迅速に検出、測定、マークできる自動検査システムも備えています。NANOMETRICS NanoSpec 9000bには、テストおよび計測に加えて、ウェーハ特性評価用のソフトウェアも含まれています。これには、自動および手動の欠陥レビュー、イメージステッチ、ウェーハの向きの再配置など、幅広い分析および評価ツールが含まれます。これにより、高精度の欠陥レビューと特性評価に最適です。結論として、NanoSpec 9000bは、ウェーハ上の最小の欠陥やパターンさえも検出して特徴付けることができる強力なウェーハテストおよび計測機です。その高解像度イメージングツールと特殊なハードウェアとソフトウェアにより、幅広い欠陥やパターンを迅速かつ正確に特定してマークすることができます。これにより、さまざまなウェーハテストおよび計測アプリケーションに最適な資産となります。
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