中古 NANOMETRICS LYNX #9203178 を販売中

製造業者
NANOMETRICS
モデル
LYNX
ID: 9203178
ヴィンテージ: 2010
Critical dimension measurement system EFEM With (2) NANOMETRICS Metro Missing parts: Lamp housing Relay lens Nano OCD Loading configuration: (4) Load ports Power rating: 200 VAC~240 VAC, 1 Phase 2010 vintage.
ナノメトリクスLYNXは、半導体産業のために設計されたウェーハ試験および計測機器です。使いやすいインターフェイスを備え、最大25インチの基板径を受け入れます。高面積カバレッジ、高度な検査・解析、高速画像処理、特性解析など多彩な機能を搭載しています。最先端のカメラ技術を活用し、試験片と部分試験片の両方の測定を可能にし、さまざまな試験要件に対応できます。このユニットは、高度なアルゴリズム技術を使用して、高い精度でウェーハの小さな領域を測定します。パターンマッチングや面積平均化などの高度な欠陥低減技術の使用をサポートしています。画像データを取得し、欠陥の種類、量、位置を決定するアルゴリズムで分析します。これにより、エンジニアはウェーハの歩留まり最適化プロセスで情報に基づいた意思決定を行うことができます。ウェーハ検査や計測に加えて、薄膜のサイズや厚さも測定できます。4チャンネル分光検出器とクアッド偏光偏光器を使用して薄膜を解析します。これにより、フィルム内の変形の有無を特定し、膜厚を正確に測定することができます。このツールは、さまざまな周辺機器と統合して、材料の特性評価にその機能を拡張することができます。X線 回折/XRDまたはX線 フォトエレクトロン/XPSアセットと結合して、表面および/または近傍の材料分析を行うことができます。また、光学/スキャンまたは透過電子顕微鏡/TEMモデルに接続して、材料サンプルの詳細な分析を行うこともできます。最後に、機器はモジュール式のビルディングブロックを使用して設計されており、お客様のニーズに応じてシステムの簡単なアップグレードとカスタマイズが可能です。その結果、このユニットは拡張性が高く、さまざまな製品やプロセスに簡単に適応できます。結論として、LYNXは、半導体基板の高速、正確、信頼性の高い試験を可能にする強力なウェーハ試験および計測機械です。高度な画像処理、解析、測定技術を活用し、さまざまな用途に適しています。このツールは高度にカスタマイズ可能で、ユーザーのニーズに合わせてカスタマイズすることができます。
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