中古 NANOMETRICS Lynx EFEM #9213833 を販売中

NANOMETRICS Lynx EFEM
ID: 9213833
ウェーハサイズ: 12"
Critical dimension measurement system, 12" KAWASAKI Robot.
NANOMETRICS Lynx EFEM(超高速電子顕微鏡)は、あらゆるプロセスノードのウェーハを詳細に分析するために設計された専用のウェーハ試験および計測機器です。研究と品質管理の両方の目的のために設計されており、表面粗さ、地形、チップ漏れなどの電気特性をウェハをチェックすることができます。このシステムは、高度な走査型電子顕微鏡技術に基づいており、1ナノメートルまでの解像度でサンプルを非常に詳細にイメージングすることができます。Lynxには、最大4つのサンプル構成に対応できるモジュラーサンプルチャンバーが装備されており、複数の堆積層を同時に分析できます。また、深度プロファイリングと表面洗浄タスクを完了するための複数のスパッタソース、および真の3Dイメージング用の専用充電ニュートラライザーが付属しています。Lynxは、X線検出器や統合された自動位置決めユニットなど、追加の計測ツールとステムツールを備えており、ウェーハ間の効率的な比較を可能にします。Lynx EFEMは最先端の試験機であり、ウェーハテストを新しいレベルの精度と速度に駆動することができます。Lynxは、迅速で信頼性の高いウェハテストと検査を求める半導体エンジニアにとって理想的なソリューションです。スタンドアロンツールとして利用可能で、さまざまなプロセスノードやレイヤーに使用できます。最も一般的なオートメーション仕様に準拠しており、ランニングコストが低いため、ウェーハテストラボにとって手頃な価格の機器投資となります。Lynxは、高い投資収益率(ROI)を持つ信頼性が高く、効率的な堅牢な資産です。これは、最も要求の厳しい条件で動作するように構築されており、その高度な機能により、ウエハ検査および試験ラボに最適です。電極、ワイヤ、MEM、デバイスをナノメートルレベルまで分析することができ、半導体エンジニアは製品に関する情報に基づいた意思決定を行うことができます。
まだレビューはありません