中古 NANOMETRICS IVS 185 #9018709 を販売中

NANOMETRICS IVS 185
ID: 9018709
Automatic measurement system, 6" - 8" Resolution: 1um 90wph Flat Panel Monitor Integrated Windows server with hard drive ghost Rack mounted UPS system Metro Boost real time analysis Software 150X objective SECS II package GEM package V1.810 PC DOS 7.0 ACV (Accuvision) with Netscape, INXS based CD and overlay measurements in the same recipe Performs on copper, CMP, STI, and tungsten plug Structural metrology algorithms CD-Z, CD-Offset, CD-Step, die matrix placement, and adaptive contact Adaptive algorithms Automation with <0.1 degree pre-alignment accuracy.
NANOMETRICS IVS 185は、次世代電子部品の開発を支援するウェーハ試験および計測機器です。このタイプのシステムは、ハイテク機器の生産において、より正確で反復可能な読み取りを提供するように設計されています。電気的特性、熱的特性、機械的特性など、さまざまなデバイスパラメータの測定が可能です。標準構成では、IVS 185には、モーションコントロールステージ、ビデオ顕微鏡、計測プロファイラ、検査機器など、いくつかの統合サブシステムが含まれています。これらは、研究および製造レベルでの高感度で正確なウェーハ検査と計測ユニットで構成されています。モーションコントロールステージは、ウェーハ上のデバイスの位置と向きを制御することで安定した測定ポイントを提供するパラメトリックな機械的位置決めマシンです。このビデオ顕微鏡は、高精細なデータ取得のためのハイエンドのフォーカスと倍率機能を備えており、明るいフィールドと暗いフィールドの両方のイメージングをサポートしています。メトロロジープロファイラは、その製造の様々な段階でデバイスから表面の地形や幾何学情報をキャプチャする専用の超高精度機器です。検査装置には、CCDカメラと、傷、表面汚染、サイズの不一致などのデバイスの欠陥を検出および定量化する高度な機能が含まれています。ナノメトリクスIVS 185には、高品質の材料識別機能も搭載されています。これらの機能には、高速かつ正確な化学組成測定を可能にする光放射分光計とX線蛍光検出器が含まれます。さらに、このツールは、詳細なプロセス説明からデバイスのパフォーマンスパラメータのグラフィカル表示まで、品質保証の目的で包括的なデータ収集と分析を提供します。IVS 185は、幅広いウェーハ関連の研究およびプロセス用途に使用される多機能ウェーハ試験および計測資産です。これは、クラス最高の精度、速度、柔軟性など、前世代のウェーハテストシステムよりも大きな利点を提供します。さまざまな拡張性と統合オプションを備えたNANOMETRICS IVS 185は、今日の最先端の電子部品の設計と開発に革命をもたらします。
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