中古 NANOMETRICS ECV PRO #9099083 を販売中

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ID: 9099083
UV System Light source: Hg:Xe Automated fluid handling Capacitance: 2-frequency measurement with full 3-term modeling 200/240 VA, 50/60 Hz 2010 vintage.
NANOMETRICS ECV PROは、半導体ウェーハおよびデバイスの電気的および光学的特性を高精度かつ正確に測定するために設計された、強力で自動化されたウェーハ試験および計測機器です。ナノメトリクスECVPROは、断面特性、接触抵抗、平坦度、平坦度、横電流分布、温度依存性、およびゲート漏れ電流などのパラメータを測定することができます。高精度の平面スキャンシステム、高出力の照明ユニット、包括的な測定ライブラリを備えています。独自の設計により、ウェーハテストと計測を迅速かつ簡単に設定でき、高度なソフトウェアにより効率的で正確なデータ管理が可能です。ECV PROマシンは、ベースユニット、高精度の平面スキャナ、高出力の照明ツール、および正確な測定とデータ取得のためのWindowsベースの測定および制御ソフトウェアパッケージで構成されています。平面スキャナは、ウェーハ表面全体にわたって正確かつ正確な測定を可能にします。あらゆる種類の電気ウェーハパラメータまたは光学ウェーハパラメータを測定することができ、チャンバー間の変動を排除する自己較正機能を備えています。高出力の照明アセットは、レーザーフラッシュ、エッジとコーナーの照明、均一で局所的な照明、およびその他のさまざまな照明ツールなど、幅広いダイナミックイルミネーションオプションを提供しています。ECVPROモデルは、あらかじめ定義された解析機能の数十を含む包括的で正確な測定ライブラリと、テストとデータ分析をカスタマイズするための強力なマクロプログラミング言語を提供します。より複雑なテストのために、機器には、事前に構成されたマクロライブラリと、大手半導体企業の既製スクリプトが含まれています。さらに、強力なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、テストの使用、制御、データ分析を容易にします。このシステムは、ユーザーと機器の両方を保護する安全インターロックやその他の安全機能を備えており、すべての安全要件を満たすように設計されています。また、UL認証やCMA/CE認証など、さまざまな標準化機関から認証を受けています。全体として、NANOMETRICS ECV PROウェハテストおよび計測ユニットは、高精度な結果を提供する堅牢で信頼性の高い機械です。自動化された設計、高精度の測定ツール、強力なマクロプログラミング言語により、あらゆる半導体ウェーハ試験および計測ニーズに最適です。
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