中古 NANOMETRICS Atlas #9271278 を販売中

NANOMETRICS Atlas
製造業者
NANOMETRICS
モデル
Atlas
ID: 9271278
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
OCD Metrology system, 12" 2006 vintage.
NANOMETRICS Atlasは、特許取得済みの2次元共焦点スキャン技術を使用して、微細な地形を捕捉し、ウェーハ表面全体の構造特徴を分析する先進的なウェーハ試験および計測機器です。この技術は、静止光学システムを使用してウェーハを高解像度でスキャンすることで、ナノメートル以下の高さの構造物を正確に測定することができます。単位で使用される光学は大きい区域の小さい特徴そして変動を検出する機能を最大にするために特別に設計された方法で形成されます。これにより、Atlasは、そのクラスの他の機器よりも、半導体ウェーハの複雑なパターン特性をより正確かつ迅速に測定することができます。このマシンは、特許取得済みの「チルトスキャン」モジュールを含むユニークな5軸オートメーションツールを備えており、動的なチルトステージの動きを可能にします。これにより、サイズや位置に関係なく、すべてのウェーハ表面フィーチャーが高精度で測定されます。このアセットには、完全に統合された電動サンプルステージも含まれています。3次元マッピング機能により、NANOMETRICS Atlasは複数の地形サーフェスを一度に計算し、サンプルの表面条件に関する前例のない洞察をユーザーに提供します。Atlasは高度に統合されたソフトウェアとともに、信頼性の高いデータと貴重な情報を迅速かつ正確に提供する汎用性の高いソリューションをユーザーに提供します。さらに、測定に関する知識が限られているオペレータでも使いやすく、ユーザーマニュアルの調整が最小限に抑えられています。NANOMETRICS Atlasは、サンプルの表面状態と特徴に関する正確な情報を迅速に提供するため、ウェーハ製造業界の品質保証に不可欠なツールです。高度な光学系、自動化されたサンプルステージ、高度に開発されたソフトウェアのユニークな組み合わせにより、提供されるデータに対する比類のない信頼性が保証されます。
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