中古 NANOMETRICS Atlas #9271275 を販売中

NANOMETRICS Atlasは、半導体業界で使用される高精度のウェーハ試験および計測機器です。これは、最高レベルの精度と再現性を提供するように設計されており、ユーザーは非常に厳しい公差に機能を測定および制御することができます。Atlasは、半導体ウェーハ上の臨界寸法の測定を可能にする非接触フルフィールドスキャンシステムであり、膜厚や抵抗などの広域機能を備えています。NANOMETRICS Atlasは、白色光の干渉計（WLI）やビデオ絞り顕微鏡（VAM）など、さまざまな測定技術を利用しています。WLIは視野の広いイメージングとサブナノメートルの垂直分解能を提供しますが、VAMはトランジスタやボンドパッドなどの小さな機能を解決するための優れた横方向および垂直分解能を備えています。これらの技術を組み合わせることで、Atlasは最も複雑な表面からも素早く測定を取得できます。NANOMETRICS Atlasはまた、非接触および超高分解能の計測のユニークな組み合わせを提供しており、最も困難な構造でも1 μ mの小さい特徴を測定することができます。様々な測定構成をサポートすることで、3D輪郭や表面粗さなどの平坦面と高曲面の両方を測定することができます。さらに、Atlasは8インチまたは12インチのウェーハ検査機能と、標準の10インチのウェーハでサポートされる測定機能を提供します。NANOMETRICS Atlasは、高度な測定機能に加えて、テスト品質と再現性を確保するための堅牢なテクノロジーも備えています。例えば、自動アライメント技術により、テスト前にウェーハを自動的にアライメントすることで時間を節約できます。また、高速プリアライメント用のビジョンマシンと、デュアルサイド測定用の完全自動サンプル登録ツールを内蔵しています。Atlasは、コンパクトな設計と高精度なため、ラボ環境と生産環境の両方に適しています。NANOMETRICS Atlasは、さまざまな条件で信頼性の高い一貫した測定を提供することにより、ユーザーが品質保証のための最高水準を維持するのに役立ちます。