中古 NANOMETRICS Atlas #9270884 を販売中

NANOMETRICS Atlasは、半導体材料およびデバイスの測定および特性評価用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。最先端のソフトウェアプラットフォーム、サブナノメートルスキャン顕微鏡、さまざまな高度な測定および特性評価コンポーネントで構成されています。このソフトウェアは、ユーザーに使いやすいGUI （Graphical User Interface）を提供し、システムパラメータを制御し、検査中のサンプルをナビゲートし、ワークフローを開発し、収集されたデータを視覚化します。このプラットフォームを使用すると、2Dと3Dの任意の解像度で、地形から電気特性に至るまで、あらゆるものを測定できます。画像処理、ラインプロファイリング、高度な機能認識など、さまざまな標準解析ツールをサポートしており、さまざまな測定および特性評価を実行できます。アトラスで使用される顕微鏡は、スキャン範囲が最大150mm、横分解能が0。11 µm、精度が最大8nmです。特許取得済みのE-SEM （Energy Enhanced Scanning Electron Microscope）設計により、ユーザーは地形画像と電気画像の両方をキャプチャできます。この顕微鏡は、高精度スキャンとフィーチャー認識に最適化されています。NANOMETRICS Atlasは、さまざまな加工段階でさまざまな材料を特徴付けることができます。材料の電気伝導性、その電気容量、漏れ電流、およびその他のパラメータなど、結果に影響を与える可能性のあるさまざまなパラメータを考慮に入れます。また、光応力センサやスキャン楕円測定プローブなどのセンサーとプローブの包括的なセットを提供しています。収集されたすべての測定と特性はユニットに保存され、テーブル、グラフ、ヒストグラムなど、さまざまな形式で表示できます。さらに、このマシンは、2Dと3Dの両方の地形画像や電気画像などのより高度な測定値を表示することができます。全体的に、Atlasはさまざまな半導体材料をさまざまな処理段階で測定および特性評価するための使いやすいプラットフォームを提供しています。高度なソフトウェア、高度なスキャン顕微鏡、幅広いセンサーやプローブを使用して、ユーザーはさらなる分析のために必要な情報を収集することができます。収集されたデータを明確なグラフィカルフォーマットで表示することで、コンポーネントの設計に関する深い洞察を得ることができます。