中古 NANOMETRICS Atlas #9256431 を販売中

NANOMETRICS Atlasは、半導体業界で使用される最先端のウェーハ試験および計測機器であり、220nm以下と最大28 µmの機能を備えた構造物のテストと検査を可能にします。このシステムは、チップのオンザフライ再評価を実行するように設計されており、デバイスとプロセスのパフォーマンスに関する正確なデータを提供し、プロセス中の基礎となる物理現象を理解することができます。Atlasは、電気試験、計測、イメージング機能を、自動化された最適化されたパッケージ内の単一のプラットフォームに統合します。その高性能と信頼性により、NANOMETRICS Atlasはパフォーマンスに重要なウェーハテストおよび計測アプリケーションに最適です。Atlasは、非破壊電気板抵抗測定からパラメトリックウェハレベル試験、ゲート遅延測定から自動化されたイオンビームミリングまで、ウェハサンプルでさまざまなテストを実行できます。統合された光学顕微鏡と充電結合デバイス（CCD）カメラユニットは、22ナノメートルまでの構造物の高解像度イメージングとマイクログラフを可能にし、高精度のウェーハステージは再現性と正確な性能試験を可能にします。統合された走査型電子顕微鏡（SEM）は、表面イメージング、厚さ測定、臨界寸法（CD）測定、および地形および粗さ測定を可能にします。SEMは、サイドバイサイドイメージングと登録のための光学顕微鏡と組み合わせて使用することができ、特徴や構造の複雑な特性評価を可能にします。NANOMETRICS Atlasの洗練された自動化された制御ソフトウェアは、試験および計測プロセス中に正確な圧力制御とパラメータの最適化を可能にします。一方、堅牢なデータ取得により、デバイスおよび電気パラメータを正確に測定できます。さらに、このマシンは、クリーンルーム環境への統合に最適な産業対応技術標準を備えています。結論として、Atlasは半導体業界にとって非常に貴重なツールであり、さまざまなウェーハ試験および計測アプリケーションに正確で堅牢なデータを提供するように設計されています。その高精度で比類のないパフォーマンス機能により、ウェーハテストとプロセス最適化のための信頼性の高いツールとなります。