中古 NANOMETRICS Atlas #9251048 を販売中
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NANOMETRICS Atlasは、半導体デバイスの高精度解析のために設計されたウェーハ試験および計測機器です。ファブレベルおよびウェハレベルの電気的解析、ウェハマッピングおよび寸法測定、欠陥検出のための自動プラットフォームであり、製造および半導体テスト業界のお客様がプロセス制御を改善し、歩留まり損失を予測できるようにします。Atlasは、スピードと精度のユニークな組み合わせを提供し、製造プロセスとテストプロセスの迅速な最適化を可能にします。このシステムは、小型で柔軟なフットプリントを備えているため、本番環境での現場設置に最適です。NANOMETRICS Atlasは、最高の精度測定と最先端のセンシング技術を組み合わせて、正確で信頼性の高い測定を保証します。このユニットには、ウェーハスキャンステージ、3つの専用計測ヘッド(寸法、電子ビーム(EB)ベースの欠陥検出および自動光検査)、および自動化されたプローブステーションがσされています。パターン化された光学データと計測データを使用して、重要な電気パラメータとテストパターンを同時にフィードバックできます。Atlasは、高度なEB機能により、詳細なウェハマッピングと電気データ、およびトップダウンのエッチプロファイル分析を提供できます。さらに、このマシンは、高度なスキャンとテスト速度の強化を追加することで、より高いスループットとパフォーマンス向上に最適化されています。NANOMETRICS Atlasには、さまざまな仕様があり、特定のニーズに合わせてツールをカスタマイズできます。安全で設備の整ったソフトウェア環境により、迅速なセットアップと複雑なプロジェクトのスムーズな開始が可能です。リアルタイムのデータ共有とレポート生成を可能にし、新しいプロセスの迅速な適応と検証を可能にします。要約すると、Atlasは、半導体デバイス分析およびテストのための汎用性と効率的なウェーハ試験および計測資産です。スピードと精度を兼ね備えているため、製造プロセスと試験プロセスを最適化することができ、最終的に生産性の向上と歩留まり損失の低減につながります。
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