中古 NANOMETRICS Atlas #9249580 を販売中

NANOMETRICS Atlasは、高精度の電気測定に使用される自動化された高度なウェーハ試験および計測機器です。これは、電気パラメータとウェーハ表面特性の高精度な測定を提供します。このシステムは、半導体、太陽電池（PV）、 MEMSなど、幅広い業界のウェーハの電気測定と表面分析を提供します。このユニットは、ウェーハの自動処理とサンプルのロード/アンロードのための統合されたサンプル管理マシンを備えています。また、1,500°Cまでのすべての温度範囲で信頼性の高い測定用のプログラム可能な温度コントローラを備えています。このツールは、抵抗、電流、電圧、静電容量、インダクタンス、充電、電力など、幅広い電気測定を可能にします。また、デバイス特性に基づいた自動パラメータ検出と最適化も備えています。このアセットには、製造プロセス中にウェーハパラメータを監視するための測定イベント検出モデルも内蔵されています。また、光学顕微鏡、原子力顕微鏡（AFM）、走査型電子顕微鏡（SEM）などの表面特性評価機能も備えています。統合スキャン電子顕微鏡であるToscannerを使用して、ウェーハの表面と地下の詳細な画像を得ることができます。これは、デバイスのパフォーマンスに悪影響を及ぼす可能性のある汚染物質、欠陥、およびその他の異常を特定するのに役立ちます。装置は柔軟性および正確さのために設計されています。これは、ユーザーが正確な測定のためのパラメータと設定を調整することができます包括的なコントロールパネルが含まれています。また、標準的なテストおよび計測アプリケーション、およびユーザプログラマブルなアプリケーションのライブラリも備えています。これにより、ユーザーは特定の要件に合わせてシステムをカスタマイズできます。ナノメトリクスアトラスユニットは、ウェーハの電気特性と表面特性を高精度に測定できるように設計されています。半導体、太陽電池、MEMSなどの幅広い産業で研究、試験、製造に使用されています。統合されたサンプルハンドリングマシン、包括的なコントロールパネル、および標準およびユーザプログラマブルなアプリケーションのライブラリにより、計測およびウェーハテストのための柔軟で有用なツールとなります。