中古 NANOMETRICS Atlas #9244875 を販売中
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NANOMETRICS Atlasは、半導体デバイスメーカーや材料分析ラボ向けに開発されたラインウェーハ試験および計測機器のトップです。Atlasは、ウェーハ製品のラインジオメトリ、表面トポロジー、および材料特性の測定および検証に使用するように設計されています。この装置は、高度なイメージング技術と走査型電子顕微鏡（SEM）を使用して、高精度の3次元イメージマップやその他のイメージングベースのデータを生成します。NANOMETRICS Atlasは、幅広いウェーハ製品の正確な計測およびウェーハ試験測定が可能です。ウエハの特徴の詳細な画像をキャプチャすることにより、アトラスは、<50nm OPC、ライン幅と間隔、Vdd/Vssライン光学イメージング、金属厚、および表面粗さのような小さい特徴の検証と分析を可能にします。さらに、抵抗、静電容量、誘電率などの電気特性を測定することができます。NANOMETRICS Atlasは、最大24個のウェーハを一度に処理でき、パターンサイズは最大976cm2、最小ライン幅は0.2µmです。統合された自動ウェハマッピングユニットと高度な欠陥解析ソフトウェアを搭載し、最高レベルの測定精度と機能検出を保証します。このマシンのユーザーフレンドリーなインターフェースは、ユーザーに画像キャプチャとサンプル処理の設定のより大きな制御を提供します。Atlasは、高精度のウェーハテストと計測のための包括的で費用対効果の高いソリューションを提供します。NANOMETRICS Atlasは、幅広いウェーハ製品の詳細な画像をキャプチャする機能を備えており、半導体業界における重要なアプリケーションの正確で信頼性の高い測定を保証します。
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