中古 NANOMETRICS Atlas #9244874 を販売中

NANOMETRICS Atlasは、ウェーハテストと計測のための最先端の機器です。デバイスジオメトリのスケーリングにより、測定の精度と再現性を高める必要性が高まり、ウェーハテストと計測システムの自動化が必要になりました。Atlasは、ウェーハ上の電気的、電気的パラメータを正確に測定する自動計測システムです。複数の高性能レーザー、センサ、制御システム、および複数の結果を同時に提供するデータ収集ユニットを内蔵しています。この機械は、接触抵抗、高さプロファイル、エッチング深さ、デバイスルーティングなど、ウェハ上のさまざまなパラメータを測定することができます。このツールは、干渉計の技術に基づいてウェーハの高さプロファイルを測定するレーザー振動計を使用しています。レーザーはウェーハの表面プロファイルを感知するために使用され、データはリアルタイムで収集および分析されます。このモデルには自動欠陥検出も組み込まれており、開放回路、短絡回路、デッドショート回路などのさまざまなタイプの欠陥を識別および分類することができます。この装置には、ウェーハ上の欠陥箇所をマークして識別できる強化された欠陥マーキングソフトウェアも装備されています。自動化された機能に加えて、NANOMETRICS Atlasは測定結果を最適化するために測定パラメータを手動で調整する機能も提供します。このシステムは、スポットサイズ、レーザー出力、露光時間などのさまざまなパラメータを手動で設定することができ、カーブフィッティング、統計プロセス制御（SPC）などの高度なデータ分析および制御機能も提供します。全体として、Atlasはパワフルで包括的なウェーハテストおよび計測ユニットであり、品質の高いウェーハの生産を確実にするために、迅速かつ正確な測定を提供するように設計されています。自動化された手動機能を備えたこのマシンは、最新のウェーハ製造プロセスに不可欠なツールです。