中古 NANOMETRICS Atlas #9244873 を販売中

NANOMETRICS Atlasは、寸法および地形測定のスループットを向上させるウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、非接触の構造位置決め技術に基づいて構築されており、さまざまなサンプル形状や材料をサポートしています。このユニットは、容量性、誘導性、および光学センサを含む複数のセンサ技術を利用しています。これらの技術を組み合わせて、ナノメートル（nm）の精度でわずか数秒で精密な3D表面測定を得ることができます。自動化された非接触サンプル処理ツールにより、機械の精度が向上し、迅速なセットアップと再現可能な測定が可能になります。このアセットは、乾燥またはウェットエッチング、シャドウマスク、フォトリソグラフィなど、実際の製造プロセスと相関する高スループットと測定結果などの追加の利点も提供します。曲面に沿っても3次元形状フィーチャーを検出して数値表示できる高度なエッジ検出アルゴリズムにより、正確な結果が得られます。Atlasプラットフォームは汎用性があり、さまざまな要件を満たすように構成することができます。ステージを横断するためのステッピングモーター、ウェーハ/サンプル位置決め用の電動Z軸、調整可能な焦点距離、ユーザー定義のイメージングパラメータ、およびその他のカスタマイズ可能なコンポーネントが装備されています。さらに、このモデルには、サンプル速度を向上させるための高速ステージトラバース装置が含まれています。プロセス追跡分析（PTA）を使用して、生産プロセスを監視および最適化できます。PTAは、短期間または長期間にわたって、寸法および幾何学的測定およびパターンの自動測定および分析を可能にします。この機能は、プロセス監視とプロセス歩留まり向上のための貴重なリソースです。全体として、NANOMETRICS Atlasは、研究者や製造業者が正確な結果を達成するのに役立つ効果的なウェーハ試験および計測システムです。複数のセンサ、自動非接触サンプルハンドリング、高速ステージトラバース、高度なエッジ検出アルゴリズムを組み合わせることで、このユニットは正確で効率的なウェーハテスト体験を提供します。さらに、PTAは生産プロセスの監視と最適化を支援し、ウェーハ全体の品質と歩留まりを改善します。