中古 NANOMETRICS Atlas #9221857 を販売中
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販売された
ID: 9221857
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2006
OCD Metrology system, 6"
ATLAS-M Analysis platform
P/N: 1000-01046 Rev B
Single ASYST load port
Tool upgraded
With particle contamination cover in 2016
Parts non-functional:
Polarizer
Torret: 4x - 15x
2006 vintage.
NANOMETRICS Atlasは、主に半導体製造および研究施設で使用するために設計された自動ウェーハ試験および計測装置です。このシステムは、精度と再現性を備えたさまざまなサイズのウェーハ上のさまざまなパラメータと機能を測定することができます。このユニットは高解像度のCCD検出器を備えており、さまざまな斜面、エッチングピット、地形、穀物構造などのウェハ機能を高精度に測定することができます。機械の中心はAtlas Metrology Stationです。FPA (Focal Plane Array Imaging Asset)、スリットプロジェクターイメージングシステム、反射スキャナ、レーザー干渉計、光学プロファイラからなるモジュラーツールです。これらの部品により、NANOMETRICS Atlasは、0。1ナノメートルの極めて微細な解像度で、直径500ミクロンの小さな特徴を測定するための前例のない精度を提供することができます。このモデルは、使いやすいユーザーインターフェイスで複数のウエハで同時測定を行うことができます。ユーザーは、各ウェーハで行う測定タイプを選択することができ、精密測定のためのパラメータの正しい組み合わせを選択する自動化された要件があります。Atlasは、安全なネットワーク機器にデータと結果を保存し、製造プロセスの他のツールと直接接続できます。さらに分析のために、NANOMETRICS Atlasには、さまざまな図や統計レポートを生成するための専用ソフトウェアと、統合されたグラフ印刷機能が含まれています。また、データアナライザや統計ソフトウェアなどの他のネットワークツールと統合することで、その利便性をさらに高めることができます。Atlasは強力なシステムであり、最も要求の厳しい半導体製造および研究施設のニーズを満たすように設計されています。精密測定機能、ネットワーク接続性、直感的なユーザーインターフェイスを組み合わせることで、高性能な計測を必要とするあらゆるラボに理想的な単位となります。
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