中古 NANOMETRICS Atlas II+ #9242231 を販売中
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ID: 9242231
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2016
System, 12"
(3) Load ports
(3) Modules
FFU System
EFEM Drive system
Multi-stage filtration
EFEM Transmission system
Internal robot
Stage slide system
Optical system (SE/SR)
Magnetic suspension shock absorption system
Temperature control system
Data processor
Signal interface
Data interface
Power interface
Ventilation and vacuum tests
Data analysis system
Workstation
Debugging
Wafer transfer system
Loadport
PDU Power distribution system
External power supply
Manipulator and controller
Temperature control system
Internal temperature fluctuation: 0.1°
Power supply: 220 VAC
Vacuum: 650 mm Hg
Compressed air: 100 PSI
2016 vintage.
NANOMETRICS Atlas II+ウェーハ試験および計測装置は、半導体産業におけるウェーハの電気的および物理的特性を特徴付けるための正確で信頼性の高い効率的なツールです。このシステムは、物理計測、電気試験、ロジックおよびパラメトリック試験、電気欠陥解析、ウェハレベルの物理計測など、さまざまな種類の分析を実行するための幅広い統合モジュールを提供しています。このユニットは、ウェーハの処理を正確に制御する多軸モータ駆動ステージを中心に構築されています。このステージでは、ウェハマッピング、欠陥局在化、および粒子/表面解析のための正確なモーションコントロールと位置決めが可能です。ステージも堅牢で安定しており、さまざまなクリーンルーム条件で作業することができます。さらに、このツールは、分解能と測定精度を向上させるための2つの光学システムを備えています。Atlas II+の柔軟な検査機能には、温度、電圧、電流、充電、容量、インダクタンス、および抵抗などの電気試験パラメータと測定が含まれます。このアセットは、測定データを解釈するための強力な分析ツールも提供しており、物理計測プロセスのスピードアップに役立ちます。高解像度イメージングには、明視野・暗視野イメージング、位相コントラストイメージング、走査型電子顕微鏡など、さまざまな光学検査モードを使用できます。この装置は多数の計測ウェーハと互換性があり、材料、加工条件、ウェーハ特性の変化に対応するために必要に応じてパラメータを変更することができます。さらに、NANOMETRICS Atlas II+を使用すると、ユーザーは目的の分析を調整でき、収集したすべてのデータをデータベースに保存して簡単に検索および分析できます。したがって、Atlas II+は強力で効率的な計測システムであり、ウェーハ上で電気的、物理的、ロジックテストを実行するための幅広い機能をユーザーに提供します。その高精度、柔軟な測定、直感的な操作、データベース機能と組み合わせることで、半導体業界に不可欠なツールとなります。
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