中古 NANOMETRICS Atlas II+ #293636675 を販売中

NANOMETRICS Atlas II+は、高度な光学系やエレクトロニクスを利用して、表面トポグラフィ、酸化物厚さ、抵抗などの半導体ウェーハ特性を測定するウェーハ試験および計測ツールです。最大8インチウェーハの検査・解析が可能なため、デバイス開発や高度なプロセス制御が求められています。このシステムは、X-yスキャナ、イメージング顕微鏡、および高性能レーザーセンサーを備えた最先端の計測プラットフォームで構成されています。x-yスキャナは、顕微鏡のステージ上のウェーハの正確な位置決めと測定ヘッドの正確な位置合わせを可能にします。さまざまなイメージング目的により、ユーザーはウェーハ上のさまざまなレベルのディテールの画像を取得できます。高度なレーザーセンシング技術は、膜厚や膜厚、肉眼では見えないウエハの地形などを測定します。すべての測定値はミクロン単位で取得され、デジタルデータポイントとして保存されます。これにより、酸化物厚さ、臨界寸法、抵抗率などのパラメータの迅速な評価が容易になります。Atlas II+に付属するソフトウェアは、画像、データプロット、および計測プロセス制御を表示します。また、測定プロセスを合理化し、オペレータのエラーを最小限に抑えるための自動フォーカシングアルゴリズムも含まれています。このシステムは、ウェーハテストと計測における可能性の世界を開きます。NANOMETRICS Atlas II+を使用すると、デバイス開発者は迅速に問題を特定し、迅速に修正することができ、生産時間とコストを削減できます。高度なプロセス制御機能は、大量生産の実行が仕様要件に準拠していることを確認するのに役立ちます。