中古 MURAKAMI GM-26D #293616276 を販売中

MURAKAMI GM-26D
製造業者
MURAKAMI
モデル
GM-26D
ID: 293616276
Measurement system.
MURAKAMI GM-26Dは、ウェーハフォトリソグラフィの生産的な測定のために設計された先進的なウェーハテストおよび計測機器です。業界をリードする精度、再現性、解像度を備えたGM-26Dは、あらゆるタイプのフォトマスクメーカー、ICベンダー、半導体製造装置に最適なシステムです。MURAKAMI GM-26Dは、高精度の光学センサーを多数搭載しており、ナノメートルレベルでの正確な測定が可能です。臨界寸法(CD)、ラインエッジ粗度(LER)、パターン配置などの特性を比類のない速度と精度で測定できます。さらに、サンプルローディングからデータ取得、分析まで、測定プロセス全体を自動化する機能を提供します。このユニットは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと直感的なメニューで、非常に直感的で使いやすいです。自動化されたウェハトランスファーマシンは、高速通信速度で効率的なウェハローディング、アンロード、および位置制御を可能にします。完全に自動化された解析ツールは、正確な結果を迅速に生成し、プロセスパラメータを最適化するために使用できます。GM-26Dは、多種多様なフォトリソグラフィック以外のパラメータも測定するために最適化されています。高性能な接着剤ディスペンシングステーションと高輝度UV光源を備え、誘電体フィルム、金属などのウエハ材料特性の測定が可能です。さらに、その高度な粒子検出機能は、ウェーハ表面欠陥検査のための機能を拡張します。これらの機能により、MURAKAMI GM-26Dは生産プロセスに関する比類のない洞察を提供し、すべての重要な測定が正確かつ再現可能であることを保証します。したがって、この資産は、半導体業界の品質保証のための究極のツールを提供します。高速で精度の高いGM-26Dは、あらゆるウェハテストおよび計測アプリケーションに最適です。
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