中古 MTI Proforma 300 #9269084 を販売中

製造業者
MTI
モデル
Proforma 300
ID: 9269084
Non-contact thickness measurement system Approximate diameter granite fixture, 8" To hold small / Large substrates.
MTI Proforma 300は、ウェーハを正確に測定および検査するために設計された主要なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは300mmのモジュラー設計を備えており、アップグレードが容易であり、ウェーハテストの最新の開発に最新の状態を維持します。Proforma 300ユニットは、表面欠陥および地形を検出するための特許取得済みの非接触式電気機械技術(公称移動0。1 µm)に基づいています。このマシンには、カメラ、スキャンヘッド、ビデオハードウェア、ソフトウェアをキャプチャするデジタルイメージが含まれています。MTI Proforma 300は、6軸ステージを使用して、200mmおよび200mmの高さの移動範囲を提供し、あらゆるウェーハで正確な測定を可能にします。Proforma 300の欠陥検出ツールは、さまざまなレーザーを使用して、ミクロンサイズの欠陥、表面粗さ、チップ配置の不規則性、およびウェーハ構造のその他の非均一性を検出します。レーザーと赤外線画像を組み合わせることで、0.1µmから500µmまで幅広いサイズの欠陥を検出して測定することができます。統合されたソフトウェアは、分析および評価のための欠陥データを保存および処理します。MTI Proforma 300には、高度な3Dマッピングモデルもあります。この装置は、ウェーハ表面の高解像度(Z-probe) 3Dグラフィックス表現を提供し、潜在的な欠陥、構造の不規則性、その他の非均一性を迅速に識別することができます。システムは、詳細な分析のために最大80万の測定ポイントをキャプチャすることができます。さらに、Proforma 300ユニットは高度な計測機能を備えており、線幅、クリティカル寸法、ピッチ、ミッドライン偏差などのウェーハパラメータを高精度に測定できます。また、ベンチトップ、クリーンルーム、SEMIオペレータコンソールチェックなど、さまざまなテスト環境での動作もサポートします。全体として、MTI Proforma 300は、さまざまな業界向けに包括的なウェーハテストと計測を提供しています。このツールは、ウェーハの不完全さ、構造の不規則性、その他の不均一性を発見するのに理想的であり、ユーザーはあらゆる問題をすばやく特定して対処することができます。
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