中古 MOT μGALV #293807037 を販売中
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ID: 293807037
ヴィンテージ: 2023
Plating system
HMI
Filtering : 1 μm 10" Catridge
N2 Purge
Monitor, 17"
PLC Control
Valve: PP / EPDM Sealing
Template tank
Temperature: ±0.5 K
Heater: (2) Sensors
Circuit pump:
Capacity: 20 l/min
Power supply: 230 VAC
pH Control:
Accuracy: ±0.2 pH
Range: 2-12 pH
Rectifier:
Pulse reverse rectifier
Output: 0-20 ADC
Resolution: 1 mA
Output voltage: 0-10 V
Ripple: <1%
Minimum pulse time: 0.1 msec
Spray guns:
Material: PTFE
DI-Water Spray gun
N2 Spray gun
Wafer holder:
Material: PEEK
Edge exclusion: 3 mm
Chuck, 2"-6"
2023 vintage.
MOT μ GALVは、半導体製造および研究所の厳しい要件を満たすように設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。この高度なシステムは、精密試験、測定、分析機能を組み合わせて、集積回路やその他の電子デバイスの製造に使用されるウェーハの品質と信頼性を保証します。GALVユニットの中心μあるのは、半導体ウェーハの電気的特性を特性化するための比類のない精度と感度を提供する高精度のガルバノ磁気測定技術です。ホール効果の原理を活かし、キャリア濃度、モビリティ、抵抗率、ホール係数などの主要パラメータを卓越した精度と速度で測定することができます。MOT μ GALVツールの主な特徴の1つは、さまざまなアプリケーションや業界の特定のニーズに合わせて柔軟な構成と拡張性を可能にするモジュラー設計です。このアセットには、さまざまなウェハサイズ、タイプ、および材料に対応するために、さまざまな測定プローブ、センサー、およびアクセサリを装備することができます。さらに、このモデルは統合されたソフトウェアプラットフォームを提供しており、ユーザーは測定ルーチンを簡単に制御およびカスタマイズし、データを分析し、詳細なレポートを生成することができます。ガルバノ磁気測定機能に加えて、μ GALV装置は、半導体ウェーハの包括的な特性評価を提供するために、さまざまな計測技術を提供しています。これには、光学検査、表面プロファイル測定、電気試験、欠陥解析などがあり、ユーザーはウェハの特性と品質を完全に把握することができます。MOT μ GALVシステムは、テストと測定プロセスを合理化し、スループットを向上させ、ヒューマンエラーを低減する高度な自動化機能を備えています。ロボットハンドリングシステム、ウェハマッピングツール、自動データ解析ソフトウェアと組み合わせることで、ウェハローディングから最終検査までのシームレスで効率的なワークフローを実現します。さらに、GALVマシンμ信頼性、耐久性、ユーザーフレンドリーな操作に重点を置いて設計されています。このツールは、堅牢な構造、高品質のコンポーネント、高度な校正および校正機能を備えており、時間の経過とともに正確で一貫した結果を保証します。さらに、直感的なユーザーインターフェイス、インタラクティブチュートリアル、包括的なテクニカルサポートを備えており、ユーザーが迅速にスピードアップし、モデルの機能を最大化するのに役立ちます。結論として、MOT μ GALV装置は、高度なガルバノ磁気測定技術、包括的な特性評価機能、オートメーション機能、およびユーザーフレンドリーな設計により、ウェハテストと計測の新しい標準を設定します。半導体製造、研究開発、または品質管理アプリケーションで使用されるGALVシステムμ、半導体業界の厳しい要件を満たすために比類のない性能、柔軟性、および信頼性を提供します。
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