中古 MITUTOYO SJ-301 #9287963 を販売中

MITUTOYO SJ-301は、研究開発、製造、品質管理アプリケーションにおける高度な故障解析、プロセス監視、デバイス開発用に特別に設計された高精度のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハ構造の正確な測定とウェーハの表面プロファイルの正確な測定を組み合わせた光学計測技術を使用しています。単位は4つの主要な部品から成っています：光学ヘッドユニット（ライトガイドおよびイメージ投射のための光学要素そしてレーザー源を収容する）；ウェハハンドリングの段階（位置および基質の方向を監視するためのサンプルプラットフォームとCCDカメラを含む）。データ取得と分析のための計測コンソール（画像処理ソフトウェアを搭載）。そして精密段階のコントローラー。SJ-301の光学ヘッドユニットには、2つの作業ビームと参照ビームに分割された光線を導くための高出力レーザダイオードモジュールが含まれています。両方のビームは、サンプル表面に光ファイバーの配列を介してイメージされ、サンプルは4x目標レンズの焦点面に配置されます。得られた画像は、計測コンソール上のカメラ、CCDアレイ、および目標レンズによって収集および分析され、スキャンされた領域のプロファイルマップに処理されます。マシンの計測コンソールは、コンピュータベースのデータ収集ツール、グラフィカルユーザーインターフェイス、画像処理ソフトウェアで構成されています。このソフトウェアは、信号対ノイズ比の向上などの対策によって収集された信号を強化するために使用できます。その後、データは精密ステージコントローラによって関連するすべての測定値を含むデータベースに転送されます。MITUTOYO SJ-301の精密ステージコントローラは、サンプルプラットフォームに連続的な動作範囲を提供するように設計されたプログラム可能な精密スキャニングコントローラです。コントローラは、ウェーハの正確な位置決めを可能にし、ユーザーは、アセットからの正確な測定を考慮するために、光学ヘッドユニットに相対するサンプルの位置を調整することができます。SJ-301は、高度な故障解析およびデバイス製造プロセスのためのウェーハ表面トポグラフィーの正確な測定を提供します。高精度のイメージング・解析ユニット、精密ステージコントローラ、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを搭載し、操作が簡単になります。この装置は、多目的な機能を備えており、半導体およびウェーハ計測アプリケーション向けの強力なツールです。