中古 MITUTOYO SJ-210 #9245762 を販売中

MITUTOYO SJ-210ウェハテストおよび計測装置は、半導体デバイス開発のすべての段階において正確な計測測定を提供するように設計されています。エッチング前後のウェーハ計測や製造工程への堆積、最終工程の検査や品質管理に使用できます。このシステムは、25mmから200mmまでの範囲のウエハサイズで動作するように設計されています。マルチポイントスキャン機能を備えた非接触ビジョンユニットを備えており、精度と再現性を向上させます。SJ-210は589mmまでのウェーハを支えることができる2軸ステージを使用し、X=125mmとY=300mmの可動範囲を持っています。このマシンは、サンプルハンドリング用の高性能6軸ロボットを内蔵しており、標準およびカスタムのハンドリング治具の両方に対応できます。MITUTOYO SJ-210ツールには、高解像度CCDカメラと4軸マニュアルステージがあり、測定精度を微調整します。このアセットには、デジタルイメージング、表面プロファイリング、非接触測定、パターン認識などの一連の測定ツールが付属しています。非接触測定では、変位、振動、加速度測定にレーザー干渉計を使用します。また、変形測定用のさまざまな測定プローブも含まれています。SJ-210は、台形、長方形、円弧、円、およびその他の形状のパターンを検出およびプロットして、エンジニアや科学者がそれに応じてエッジまたは表面プロファイルを測定および分析するのを助けることができます。さらに、ウェーハ全体のサイズ、厚さ、表面粗さ、ステップ高さ、平坦度などの複数の特性を測定することができます。MITUTOYO SJ-210ウェーハテストと計測システムは、計測とプロセス検査を行うための効率的で汎用性の高いツールをユーザーに提供します。一連の測定ツールにより、エンジニアと科学者はさまざまなウェーハサイズで迅速かつ正確な測定を行うことができ、ウェーハ処理に関する包括的な洞察を提供します。