中古 MDC Duo Chuck #9171324 を販売中

MDC Duo Chuckは、厚さ、平坦度、弓、ピッチ、位置合わせおよびその他のパラメータを含む複数のパラメータを同時に高精度に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、低温チャック、チャックをサポートする堅牢なシャーシ、およびチャックのRPM制御とテスト中のチャックの動きの精密制御の両方を提供するコントローラが含まれています。低温チャックは、テスト中にウェーハの最大動作温度をはるかに下回る温度を維持し、正確で再現性のある測定を保証するように設計されています。デュオチャックは、いくつかのレイヤーとコンポーネントで構成されています。下層にはアダプタープレートがあり、チャックアセンブリをロボットハンドリングユニットに取り付けます。第二の層は、正確な温度調節のための加熱ベースプレートと温度制御機を含む超低温マイクロ電子チャックです。第三の層は、環境絶縁とアライメントを提供するチャックハウジングであり、第四層は温度制御、チャック駆動力、チャックの位置制御を提供するリングギヤモータです。さらに、MDCデュオチャックは、精密ツーリングと非接触超音波技術を備えています。精密工具細工は、高解像度と結果の再現性を備えた高精度な測定を提供するように設計されています。非接触超音波技術により、試験中にウェーハをチャックに正確かつ正確にアライメントすることができ、測定に影響を与えることなくウェーハを前後（ピッチ角）および上下（弓の角度）に移動させることができます。Duo Chuckツールは、高度なセルフクリーニングおよび校正機能を使用して、測定の精度と再現性を保証します。このアセットには、チャックの定期的な整合性チェックを行うセルフキャリブレーションルーチンと、その環境を積極的に監視し、手動で介入することなく深いクリーンを実行するスマートなセルフクリーニングエンジンが組み込まれています。これらの機能を組み合わせることで、ウェーハテストと計測において最も正確で信頼性の高い結果が得られます。