中古 MDC CSM/16 #9410485 を販売中

MDC CSM/16は、さまざまなサイズと材料のウェーハの信頼性の高い、高精度の測定を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このデバイスは、ウェーハの電気的、物理的、および化学的特性に関連するさまざまなパラメータを測定することができます。CSM/16には自動テキスト認識モジュールが装備されており、サンプル表面にエッチングまたは印刷されたテキストを正確に読み取ることができます。このシステムには、3軸のエアベアリングナイフエッジウェーハ測定ステージと高度なAutoGageスキャナが内蔵されています。このステージは、パラメータを正確に測定するために、正確なウェーハ配置用に設計されています。AutoGageスキャナは、サンプルの表面トポグラフィの超精密な検出と測定に線形可変変位トランス（LVDT）を使用しています。CSM/16は、特許取得済みのFAM （Fully-Automated Metrology Unit）も提供しています。このユニットは、クリティカル寸法、プロファイル半径、平坦度、テクスチャ、角度、膜厚などのさまざまな特性を自動的に測定することができます。このマシンは、ビジョンモジュールと高解像度のリニアセンサーと統合されており、手動で介入する必要なく正確な測定を提供します。さらに、CSM/16は高解像度のイメージングツールを提供しており、ユーザーはダイダイパターンを分析して測定するだけでなく、欠陥や劣化した領域を特定することができます。このイメージングアセットには、デジタルカメラ、fluintesent imaging domcile、レーザー光源、ビジョンプロセッサが装備されています。MDC CSM/16は光学顕微鏡の特徴を含んでいます、高解像度機能および倍率のレベルの範囲のデジタルによってステッチされたイメージを特色にし、オペレータが品質管理か点検目的に正確に焦点を合わせることを可能にします。画像を強化し、より高いレベルのコントラストと解像度を提供することができます。また、エネルギー分散X線分光法（EDS）を使用して、サンプル中に存在する元素の組成と濃度を評価する高度な組成分析モジュールも組み込まれています。制御ソフトウェアの面では、CSM/16はユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を提供しています。このプログラムは、測定コマンドファイル、セットアップメニュー、およびオンラインヘルプへのアクセスを提供し、モデルの簡単な操作を可能にします。GUIを使用すると、測定したデータを計算、保存、表示することもできます。全体として、MDC CSM/16は、ウェーハの信頼性の高い電気的、物理的、化学的分析のための包括的なウェーハ試験および計測機器です。FAM、統合イメージングシステム、光学顕微鏡などの高度な機能を搭載しており、ユーザーは正確で正確な測定を行うことができます。また、使い勝手の良いGUIにより、ユーザーは簡単にユニットをセットアップして操作することができます。