中古 LAKESHORE 7507 #9410569 を販売中
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LAKESHORE 7507は、センサ、トランスデューサ、エレクトロニクスを統合して半導体ウェーハの試験を正確に測定および制御するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、最大6インチのサイズのウェーハの環境制御テストを提供します。PSD （Position Sensitive Detector）を内蔵した光学系を搭載しており、ウェーハの自動アライメントと登録が可能です。これにより、ウェーハ間の精度と再現性が保証されます。光学システムはまた、複雑な表面プロファイルを検査するためのレーザマイクロメータ機能を提供します。この機械には、XYZ変位を測定および制御できるモーションコントロールシステムが装備されています。これにより、ウェーハの自動搬送、マッピング、インデックス作成、ウェーハ間およびプロセス間の再現性が可能になります。7507は熱電ヒーターおよび温度センサーとの温度調整機能をプロセス正確さおよび安定性を保障するために提供します。この温度制御と試験環境の制御は、測定結果の精度を確保するために不可欠です。また、バイアス電源、アンプ、A/Dコンバータを搭載し、ウェーハ厚ゲージ、平坦度測定、構造欠陥や機能の検出を可能にします。内部データストレージとVMEバスインターフェイスにより、データ転送と他のシステムとの統合が柔軟に行えます。LAKESHORE 7507は、ウェーハテストと計測のための信頼性の高い、正確で汎用性の高い資産です。このモデルは、統合された一連のハードウェアおよびソフトウェア技術を利用して、複数のパラメータを同時にテストすることができ、プロセス開発と生産のために測定が繰り返し可能で追跡可能であることを保証します。
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