中古 KYOWA PCD-300B #9259529 を販売中

KYOWA PCD-300Bは、最高レベルの精度、柔軟性、スループット、パフォーマンスを提供する多機能ウェーハ試験および計測機器です。専用の高解像度光学顕微鏡とオートフォーカス方式を採用し、1 μ m以上の再現精度でウェーハを素早く検査できます。PCD-300Bは、さまざまなウエハテスターに最大500 μ mの基板プロービングを提供します。さらに、一般的な欠陥と細かい欠陥の両方を検出できる強力なビジョンユニットを備えています。KYOWA PCD-300Bには、最大300mm×300mmの広大でフレキシブルな基板に対応できる高度なウエハ操作機が搭載されています。迅速かつ正確な動作により、効率的なウェハローディング、グリップ、位置決めが可能です。このツールは、カセット、FOUP、 MAPなどの幅広いウェハキャリアにも対応しています。PCD-300Bは、薄いウェーハを正確に測定するために設計された強力な計測資産を提供します。レーザー干渉顕微鏡を搭載し、絶対精度97。5nmの平面測定が可能です。また、前方と後方の両方の浅いトレンチ絶縁（STI）構造の測定も可能です。この装置はまた、ウェーハ上の土地や溝の形状をナノメートル精度で正確に測定する干渉計を備えています。さらに、KYOWA PCD-300Bでは、エンジニアが迅速にプロセスに統合できる測定レシピの豊富なライブラリを提供しています。プロセス最適化されたレシピにより、テストと計測に必要な全体的な時間を短縮することで、洗練されたウェーハ機能を正確に測定できます。レシピは主要なファブソフトウェアパッケージと互換性があり、LAN接続を介して迅速かつ簡単にデプロイできます。結論として、PCD-300Bは、最高レベルの精度、柔軟性、および性能を提供するように設計された高度で汎用性の高いウェーハテストおよび計測システムです。強力な計測ユニット、専用の光学顕微鏡、各種基板に対応可能なウェハ操作機を搭載しています。さらに、このツールは、プロセス最適化のために事前に定義されたレシピのライブラリで設計されており、主要なファブソフトウェアパッケージと互換性があります。