中古 KOSAKA LAB ET 4000 #9238800 を販売中
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ID: 9238800
ヴィンテージ: 2018
3D Surface roughness analyzing system
Appropriate for measurement:
Micro figure
Step height
Roughness of FPD
Wafers
Hard disks
Other nano-order application
Sample size: 210 mm × 210 mm to 300 mm × 400 mm (Maximum)
Repeatability: 1 σ within 0.5 nm
Measuring range:
Z: 100 μm
X: 100 mm
Measuring force: 0.5 μN to 500 μN
2018 vintage.
KOSAKA LAB ET 4000は、高精度かつ再現性のある幅広いパラメータを測定できる高精度ウェーハ試験・計測機器です。高度なスキャン技術により、マイクロコンポーネントの重要寸法、さまざまなトポロジー特性、およびその他の重要寸法の正確な測定を提供します。ET 4000独自の特許取得済みの設計は、光学顕微鏡とX線顕微鏡の組み合わせに基づいており、オートステージシステムが含まれています。このユニットは、ウェーハの自動移動を可能にし、存在する可能性のある機能の全範囲を測定します。また、ステップハイト、ライン幅、さまざまな表面フィーチャーなど、さまざまな幾何学的特徴を測定できるため、複雑なウェーハ測定に最適なツールです。KOSAKA LAB ET 4000は、コア制御と最適化を徹底した機械で高精度な測定を実現します。このツールには、サーボモータ制御ステージの動きを備えた精密モーションアセットに加えて、トップレベルの計測ソフトウェアパッケージが含まれています。ステージの動きは正確さと再現性を最大限に高め、摩擦や誤差翻訳を最小限に抑えます。ソフトウェアおよびモーションモデルに加えて、ET 4000には統合された高精度の光学画像解析装置が含まれています。この光学システムは、重要寸法やその他の重要な機能を迅速かつ正確に測定します。さまざまなウェーハ寸法に基づいた自動校正を行い、より高い精度と再現性を実現します。最後に、KOSAKA LAB ET 4000には、トポロジー情報を測定するための高精度デジタル画像解析機も含まれています。このツールは、サーフェスフィーチャー、3Dデータ、およびその他の3D-relatedパラメータの迅速な分析を提供します。このアセットには、高解像度のデータ取得と視野制御が含まれており、複雑なフィーチャーと表面フィーチャーの正確な測定を可能にし、エンジニアに必要な結果を迅速に提供します。ET 4000は、ウェーハテストと計測に最適なツールです。精密な動き、画像解析、デジタルイメージ解析により、様々なウエハの特徴を短時間で正確かつ再現可能に測定します。KOSAKA LAB ET 4000は、複雑なマイクロコンポーネント構造の迅速な評価を必要とするエンジニアリングプロフェッショナルにとって非常に貴重なツールです。
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