中古 KOKUSAI VR-70 #9095916 を販売中

KOKUSAI VR-70は、高度なイメージングと分光機能を利用したウェハテストおよび計測機器です。厚さ、屈折率、表面粗さ、光学特性、フィルム応力などのプロセスパラメータを測定する、高スループット、超高解像度マルチアングルグレーティングスペクトロメータを備えています。また、ウェーハ上の欠陥や粒子汚染を検査するための高精度の非接触光学顕微鏡も提供しています。膜厚試験には、高精度のXYZ電動ステージを備えたユニークな基板ステージを採用しており、ウェーハの高速・高精度・高精度な位置決めを可能にしてVR-70ます。また、スペクトロメータビームと広範囲スキャン領域でウェーハ表面を自動アライメントするための高度なオートスキャン機能を備えています。オートスキャン機能は300mm-500mmウェーハからのスキャンが可能で、X方向に最大5,000mmのスキャン範囲があります。さらに、高品質な光学系を採用し、優れたスペクトル分解能、優れた信号対ノイズ比、優れたUV-VIS-NIR光学性能を提供することで、国際VR-70ウェーハ試験・計測装置を設計しています。このツールには、屈折率、膜厚、光学特性などのレイヤーパラメータの計算に使用できるユニークなソフトウェアパッケージもあります。このソフトウェアパッケージには、時間を節約し、再現性を確保するための事前校正済みアルゴリズムもあります。全体として、VR-70は高度なウェーハテストおよび計測資産であり、幅広いウェーハ特性の迅速かつ正確な特性評価を可能にします。ウェーハテストと計測のための信頼性と費用対効果の高いソリューションです。幅広いウエハ基板やプロセスの特性に関する詳細なデータを提供することができます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供することで、簡単に操作でき、ユーザーが情報に基づいた意思決定を行うのに役立ちます。