中古 KOKUSAI VR-70 #9051391 を販売中

KOKUSAI VR-70
製造業者
KOKUSAI
モデル
VR-70
ID: 9051391
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1990
Metrology system, 6" 1990 vintage.
KOKUSAI VR-70は、インラインウェハレベルの生産試験用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。集積回路(IC)の精密な2D・3D測定を可能にする高度なウェーハ測定システムを搭載しています。このユニットは、高速かつ高精度でウェーハの完全な検査と表面測定を可能にします。この機械は、高いスループットと精密制御を備えた半導体生産ラインやラボに適しています。VR-70は、最大直径8インチのウェーハに対応し、スリットレスレーザースキャナを備えており、2Dおよび3D測定のサブミクロン分解能の精度を実現しています。このツールは、光学顕微鏡で表面および内部トポロジデータの両方をキャプチャし、ウェーハ表面上のデバイスの非接触電気試験情報(RTD)を収集することができます。また、高解像度のデジタル顕微鏡を搭載しており、スキャン中の個々のデバイスの正確な観察と分析を可能にします。KOKUSAI VR-70には、さまざまなタイプのウェーハの欠陥や歩留まり制御点を迅速かつ正確に特定するためのインラインイメージ評価および分析アプリケーションが含まれています。また、このアセットにはダイツダイスキャン機能が搭載されており、プロセスの中間段階や製品のパフォーマンスを自動的かつ一貫した測定が可能です。これにより、製造メーカーはプロセスを迅速かつ正確に調整および制御することができます。VR-70は、製造およびプロセス開発のための高精度厚さおよび表面粗さ測定を含む完全なウェーハ特性評価ソリューションを提供します。高度なデータキャプチャインフラストラクチャにより、ウェーハとデバイスの静的および動的測定が可能です。このモデルはまた、多くの業界標準の計測およびイメージングソフトウェアと互換性があり、効率的なデータ取得と分析を可能にします。最後に、KOKUSAI VR-70は、ウェーハ欠陥解析と歩留まり制御を改善するための可視化およびレポート作成ツールを幅広く提供しています。プロアクティブなプロセス制御のためのロギングとフォルト通知機能を備えています。また、この機器は、長期的なトレーサビリティのために外部データベース上の自動データバックアップとストレージをサポートし、データの整合性を確保します。
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