中古 KOKUSAI VR-120S #9142593 を販売中

KOKUSAI VR-120Sは、高精度の回転ステージ、低ノイズ、高感度円筒測定プローブ、多彩なサンプルホルダーを備えたウェーハ試験・計測機器です。KOKUSAI VR120Sは、直径200mmまでの丸型ウェーハと非円形型ウェーハの両方を測定するように設計されています。赤外線スキャンには、1 μ mまでの高精度な標準オーバーレイ精度を備えています。サンプルホルダーは精度の高い回転が可能で、シータ段と2軸の測定段があり、どちらもマイクロメートル精度があります。このような精度により、エッチングパターンやエッチングパターン、形状バリエーションを他のシステムよりも精度の高い測定が可能です。VR 120 Sには、低ノイズ測定用に設計された低ノイズプローブと、パターン構造における極めて小さな高さ差を検出する高感度プローブの2種類の円筒形測定プローブがあります。高感度プローブは、解像度0。1nmの4mm測定範囲を提供します。ノイズ特性が低いため、さまざまな変数を高精度で測定できます。VR-120Sにまた異なったウエハーのサイズかタイプのために調節することができる多目的なサンプルホールダーがあります。これは、統合されたクリーニングツール、プローブの簡単なクリーニングを可能にする機能が含まれています。サンプルホルダーには、回転時にサンプルが滑るのを防ぐ真空アセットもあります。KOKUSAI VR-120 Sモデルは、円形ウェーハ上で最適なフィット円を計算することができ、直線解析が可能です。さらに、フィーチャープロファイルやトポグラフィ解析も可能で、シータ段の高精度と組み合わせることで、非円形ウエハ上のパラメータを測定することができます。KOKUSAI VR 120 Sは、優れたウェハテストと計測システムです。その特徴と正確さは、あらゆる試験および計測ニーズに最適なツールです。それは市場の他のシステムからそれを離れて置く精密結果そして特徴を提供します。