中古 KOCKS 4D Eagle #293605084 を販売中

KOCKS 4D Eagleは、半導体ウェーハの電気的および物理的特性を比類のない精度で特性評価することを可能にするウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、他の試験方法では取得が困難な幅広い特性を測定および分析するために設計されています。走査型電子顕微鏡、原子力顕微鏡、電気分析、電気化学分析などを組み合わせて、寸法、表面形状、電気抵抗、ゲート漏れ電流、ゲート電荷、電圧への充電、移動性、ドーパント濃度、トラップ密度などの特性を測定します。4D Eagleはまた、ホットスポット検出機能を提供し、欠陥原因の特徴を特定し、周辺の材料の特性を正確に分析することができます。このユニットは、高精度で地形特性を測定することができるデュアルビームプロフィロメータに基づいています。これにより、ウェーハ表面の小型および大型の両方の特徴を調査することができます。さらに、材料のドーパント濃度を正確に測定することができます。この情報を使用すると、適切なプロセスを使用して表面パラメータを調整してデバイスのパフォーマンスを最大化できます。KOCKS 4D Eagleには、材料中の電流の流れを測定し、その電気特性を評価することができる高度な電気化学分析装置も含まれています。この機械は、材料の物理的なパラメータをナノメートルレベルで捕捉する原子力顕微鏡を備えています。また、材料の表面地形を分析するための走査型電子顕微鏡を備えています。最後に、このツールには、欠陥を検出して特性を迅速に識別できる統合欠陥レビュー資産も含まれています。このレビューモデルは、微細な欠陥の調査と、それらに対処するために取るべき原因と行動の特定を可能にします。これらのすべての機能により、4D Eagleは現在最も完全で有能なウェーハテストおよび計測システムの1つです。