中古 KOBELCO LTA-1512 #9314399 を販売中

KOBELCO LTA-1512
製造業者
KOBELCO
モデル
LTA-1512
ID: 9314399
ヴィンテージ: 2009
Lifetime measurement system 2009 vintage.
KOBELCO LTA-1512は、半導体およびオプトエレクトロニクス業界にとって理想的なウェハテストおよび計測機器です。さまざまな測定システムを1つのプラットフォームに統合し、高精度、高速スループット、直感的なソフトウェアを使用することで、さまざまなレベルの複雑な基板を迅速かつ効率的に測定できます。このシステムは、光学システムやメカニクスなどのサブシステムを制御および管理する自動測定ツール(AMT)に基づいています。光学システムには、イメージセンサーとウェーハの光強度を測定できる光学デバイスが含まれます。optomechanicalデバイスは、ウェーハ表面の抵抗を測定することもできます。ユニットのメカニズムには、さまざまな調整可能なZ軸ステージと、基板を保持および操縦するための工具が含まれます。コントロールマシンは、グラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)とWindowsベースのソフトウェアを使用して、ユーザーが目的の測定のパラメータを簡単に調整して結果を視覚化することができます。LTA-1512は、複数の高精度かつ高スループット測定システムを備えています。これらのシステムには、屈折率、反射率、散乱、透過、干渉などの光学特性を測定できる可変角度楕円計(VAE)、反射計、散乱計、干渉計が含まれます。ウェーハ表面の抵抗を測定するために、このツールは機械的および電気的接触法を組み合わせて使用します。また、KOBELCO LTA-1512には、3D光学プロフィロメータ(OP)も搭載しています。このアセットを使用すると、ステップハイト、スクライビングライン、ボイドなどのウェーハのさまざまな機能を測定できます。LTA-1512は、ウェーハを高精度で効率的にテストする革新的な方法を提供します。使いやすいGUIとソフトウェアにより、ユーザーは簡単にパラメータを調整して結果を視覚化できます。高度な光機械装置、高精度の測定システム、機械的および電気的接触方式を組み合わせることで、最も複雑なウェーハでも迅速かつ正確にテストできます。このモデルは半導体およびオプトエレクトロニクス産業に最適で、高精度とスループットで信頼性と費用対効果の高い試験を提供します。
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