中古 KOBELCO LTA 1000 #293591940 を販売中

KOBELCO LTA 1000は、汎用性の高いウェハテストおよび計測機器です。これにより、チップのパフォーマンスとフィーチャーサイズの詳細な解析が可能になり、ほんの1ミリメートルの精度になります。システムは、統合された分析ソフトウェアパッケージ、光学計測ビジョンユニット、および高度な顕微鏡で構成されています。このソフトウェアは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスで有効になっているため、豊富なバックグラウンド知識を持たないオペレータに適しています。光学計測機は、ズームイン/アウト立体顕微鏡技術とデジタル信号プロセッサ（DSP）を使用して、詳細な3次元（3D）表面の非接触測定を可能にします。最大0.25µmの3D解像度を持ち、チップの特徴を高精度に測定できます。さらに、顕微鏡には画像認識機能とフィルタリング機能が内蔵されており、精度を向上させます。KOBELCO LTA-1000は、電気特性、機械特性、物理特性評価、ウェハレベルの欠陥検査など、さまざまな試験方法をサポートしています。測定手順は、プロセス条件とデバイス構造に関する情報を得るためのパラメトリックテストに基づいています。例えば、パラメトリックテストは、チップ部品の接触抵抗、総機能サイズ、オーバーレイ精度などの情報を提供することができます。特に、誘電体の層などの堆積物の画質を分析することができます。さらに、LTA 1000は、トレーサビリティを容易にするために、測定データを特定の部品やテスト設定にリンクできるデータロギング機能を備えています。このアセットには、材料特性評価に役立つ熱拡散性を測定できる熱伝達モジュールも含まれています。さらに、モーションと振動の分離、防塵カバー、安全なタッチ操作装置を提供します。全体として、LTA-1000は、優れた精度と精度を提供し、小型部品の開発に不可欠なツールです。直感的な制御とデータ収集機能により、ウェーハの歩留まりをより速く、より良いものにします。