中古 KOBELCO / LEO LTA #293642502 を販売中

KOBELCO/LEO LTA装置は、半導体ウェーハの幾何学的および電気的特性を測定するために設計された最先端のウェーハ試験および計測システムです。その主な用途は、仕様への適合を検証し、プロセスの安定性を保証するだけでなく、ウェーハ間のバリエーションに関する包括的な情報を提供することです。ウェハの幾何学的な特徴（表面の質感と厚さ）と電気的パラメータ（抵抗と絶縁）を同時に測定する2段階を備えています。最初の段階では、表面プロファイル、寸法、酸化物や他の絶縁層などの非導電材料など、ウェーハの最大16の物理測定が行われます。第2段階では、接触抵抗や絶縁抵抗などのウェーハの精密電気測定を行います。このマシンは特許取得済みのデュアルテストアプローチを使用しており、ウェーハの幾何学的特性と電気的特性の両方についてリアルタイムのデータ評価が可能です。これにより、高いスループットテストが可能になり、テスト時間を短縮し、貴重な生産時間を節約できます。さらに、このツールは欠陥や小さなバリエーションを自動的に検出することができ、生産者がプロセスの安定性を維持するのに役立ちます。アセットは、前処理性と精度を設計されています。すべての測定は、マイクロメーター内で再現可能で正確です。また、モデルの精密な再現性により、測定精度に影響を与えることなくウェーハスタッキングが可能です。接触抵抗測定を可能にする特殊なアルゴリズムにより、機器の正確な精度がさらに向上します。LEOは効率的でありながらパワフルなウェーハテストと計測システムです。デュアルテストアプローチと正確な再現性により、ウェーハの幾何学的特性と電気的特性の両方を迅速かつ正確に測定できます。これにより、プロセスの再現性が確保され、生産に対する制御性が向上します。さらに、機械は正確な結果のために1つのパスだけを要求することによって生産時間を最小にするように設計されています。