中古 KOBELCO / LEO LER #293642527 を販売中

製造業者
KOBELCO / LEO
モデル
LER
ID: 293642527
Edge roll off measuring system Display types: 2D / 3D.
KOBELCO/LEO LERは、半導体のためのハイテクなウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハ製造プロセス中にウェーハを正確に分析および検査するように設計されています。最先端の技術を駆使して高精度のウェーハ測定を行い、最高品質を保証します。LEO LERは、色調制御、干渉計、走査型電子顕微鏡などの様々な計測を組み合わせて使用しています。クロマティックコントロールはサンプルの色を測定し、ウェーハ上の欠陥の識別と検出を可能にします。干渉計は回転ミラーを使用して光波を干渉し、ウェハの表面地形を分析することができます。一方、走査型電子顕微鏡は、電子を用いてウェーハの組成のイメージを形成するイメージング技術です。また、KOBELCO LERユニットはウェーハ表面全体の3Dイメージングが可能です。これは、スキャンから収集されたすべての測定値とデータを組み合わせることによって行われます。このマシンは、ウェーハ上に存在する欠陥、表面異常、および異なる材料を検出することができます。また、ゲートやスペーサーラインなどの特徴の厚さと向きを測定することもできます。さらに、LERは高精度と信頼性を確保するために多くの高度な機能を実装しています。例えば、このツールは自動欠陥検査機能を使用しており、オペレータはプロセスをリアルタイムで監視できます。さらに、一貫した結果と精度を確保するために、包括的なウェーハID認識アセットが実装されています。全体として、KOBELCO/LEO LERは半導体ウェーハの包括的かつ正確な解析を提供する非常に高度なモデルです。強力な計測測定と高度な機能を備えたこの機器は、ウェーハのテストと検査の信頼性と正確な手段をユーザーに提供します。
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