中古 KLA / TENCOR Zeta Scan 280 #9293267 を販売中

KLA/TENCOR Zeta Scan 280は、半導体チップ、薄膜、フラットパネルディスプレイなどのマイクロエレクトロニクスデバイスの製造を監視するためのウェハテストおよび計測機器です。表面形状、膜厚、金型高さ、ウエハ基板上の応力などのパラメータを測定するための高解像度イメージングシステムです。KLA Zeta Scan 280は、最先端の共焦点顕微鏡をベースにした光学ユニットで、高度なコントラスト感度と広い被写界深度を備えています。5軸ステージマシンを採用し、高速かつ精密なウエハハンドリングを実現しています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーはウェーハの位置、画像キャプチャ、設定を1つの便利な場所で制御できます。TENCOR ZETASCAN 280は、光源、レンズ、フィルターを使用して、その後にデジタル化されたウェーハの画像をキャプチャします。スキャンした画像をアルゴリズムで解析し、表面高さ、金型高さ、膜厚、応力などの値を抽出します。データを操作して、結果をレポート形式で表形式で表示することができます。KLA ZETASCAN 280は、ブライトフィールド、ダークフィールド、分光イメージングなど、さまざまな計測技術をサポートしています。最大60枚の画像/秒のスキャン速度により、基板パラメータの非破壊、高速測定が可能です。Zeta Scan 280は、高度なイメージング機能と、高度に複雑なマイクロデバイスの製造を監視するための高速データ収集を提供する、強力なウェーハ試験および計測ツールです。非常に精度の高いイメージング機能、直感的なユーザーインターフェース、比類のない精度により、半導体メーカーにとって理想的な選択肢となります。